NF EN 62047-17

NF EN 62047-17

novembre 2015
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs-microélectromécaniques - Partie 17 : méthode d'essai de renflement pour la mesure des propriétés mécaniques des couches minces

Le présent document spécifie la méthode permettant d'effectuer des essais de renflement sur une couche autonome bombée dans une fenêtre. Le spécimen est fabriqué avec des matériaux de couche de structure micrométrique ou nanométrique, y compris les couches en métal, céramique et polymère, pour des MEMS, des micromachines et autres. L'épaisseur du film est comprise entre 0,1 micron m et 10 micron m et la largeur de la fenêtre à membrane rectangulaire et carrée ainsi que le diamètre de la membrane circulaire sont compris entre 0,5 mm et 4 mm.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

novembre 2015

Nombre de pages

31 p.

Référence

NF EN 62047-17

Codes ICS

31.080.99   Autres dispositifs à semi-conducteurs

Indice de classement

C96-050-17

Numéro de tirage

1

Parenté internationale

IEC 62047-17:2015

Parenté européenne

EN 62047-17:2015
Résumé
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs-microélectromécaniques - Partie 17 : méthode d'essai de renflement pour la mesure des propriétés mécaniques des couches minces

Le présent document spécifie la méthode permettant d'effectuer des essais de renflement sur une couche autonome bombée dans une fenêtre. Le spécimen est fabriqué avec des matériaux de couche de structure micrométrique ou nanométrique, y compris les couches en métal, céramique et polymère, pour des MEMS, des micromachines et autres. L'épaisseur du film est comprise entre 0,1 micron m et 10 micron m et la largeur de la fenêtre à membrane rectangulaire et carrée ainsi que le diamètre de la membrane circulaire sont compris entre 0,5 mm et 4 mm.
Sommaire
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  • 1 Domaine d'application
  • 2 Références normatives
  • 3 Termes, définitions et symboles
  • 4 Principe de l'essai de renflement
  • 5 Appareillage d'essai et environnement
  • 6 Spécimen
  • 7 Procédure d'essai et analyse
  • 8 Rapport d'essai
  • Annexe A (informative)Détermination des propriétés mécaniques
  • Annexe B (informative)Techniques de mesure de la déformation
  • Annexe C (informative)Exemple de fabrication du spécimen d'essai: Processus MEMS
  • Annexe ZA(normative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes
  • Bibliographie
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