L'ISO 25178-606:2015 définit les caractéristiques métrologiques d'une méthode de mesure sans contact particulière de l'état de surface au moyen d'un capteur à variation de focale (FV).

Le présent document spécifie la conception et les caractéristiques métrologiques des instruments d'interférométrie par balayage à cohérence (CSI) pour le mesurage surfacique de la topographie de surface. Puisque les profils de surface peuvent être extraits des données de topographie de surface, les méthodes décrites dans le présent document s'appliquent également aux mesurages de profil.

La présente partie de l'ISO 25178 spécifie l'opérateur de spécification complet pour l'état de surface (surfacesà échelle limitée) par des méthodes surfaciques.

Le présent document spécifie des modes opératoires génériques pour l’étalonnage, l’ajustage et la vérification des caractéristiques métrologiques que les instruments de mesure de la topographie des surfaces ont en commun, comme indiqué dans l’ISO 25178‑600.Comme les profils peuvent être extraits des images par topographie de surface, la plupart des méthodes décrites dans le présent document peuvent être adaptées aux instruments de profilométrie.Les problèmes spécifiques des instruments ne sont pas couverts dans le présent document. Par exemple, pour les instruments basés sur un palpage mécanique, lorsque le palpeur suit un mouvement arqué additionnel, des mesures additionnelles sont spécifiées dans l’ISO 25178‑701.Le présent document n’inclut pas de modes opératoires pour les méthodes d’intégration des surfaces, bien que celles-ci soient aussi mentionnées dans l’ISO 25178‑6. Par exemple, la diffusion de la lumière appartient à une classe de techniques connue sous le nom de méthodes d’intégration des surfaces servant à mesurer la topographie des surfaces.

Le présent document spécifie la conception et les caractéristiques des instruments à capteur autofocus à point (PAP) pour le mesurage surfacique de la topographie de surface. Comme les profils de surface peuvent être extraits des données de topographie de surface surfacique, les méthodes spécifiées dans le présent document s'appliquent également aux mesurages de profil.

L'ISO 25178-70:2014 spécifie les caractéristiques des mesures matérialisées utilisées pour la vérification périodique et le réglage des instruments de mesure de l'état de surface surfacique.

ISO 25178-1:2016 spécifie les règles pour l'indication des états de surface surfaciques dans la documentation technique de produits (par exemple dessins, spécifications, contrats, rapports) au moyen de symboles graphiques.

L'ISO 25178-6:2010 décrit un système de classification des méthodes employées principalement pour le mesurage de l'état de surface. Elle définit trois classes de méthodes, illustre la relation entre les classes et décrit brièvement les méthodes spécifiques.

L'ISO 25178-701:2010 spécifie les caractéristiques des mesures matérialisées utilisées comme étalons, les méthodes d'évaluation des erreurs résiduelles, et les méthodes d'étalonnage et les essais de réception et de revérification périodique, relatives aux instruments de mesurage de l'état de surface surfacique à contact (à palpeur).

Le présent document spécifie la conception et les caractéristiques métrologiques d'un instrument particulier sans contact utilisé pour mesurer l'état de surface à l'aide d'un capteur confocal chromatique fonctionnant suivant le principe de l'aberration chromatique axiale de la lumière blanche. Des caractéristiques métrologiques supplémentaires peuvent être trouvées dans l'ISO 25178-600. Comme les profils de surface peuvent être extraits des données de topographie de surface surfacique, les méthodes décrites dans le présent document s'appliquent également aux mesurages de profil.