NF EN 62047-10

NF EN 62047-10

décembre 2012
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10 : essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS

Le présent document spécifie une méthode d'essai de compression utilisant la technique des micro-piliers destinée à mesurer les propriétés de compression des matériaux des MEMS avec une précision et une répétabilité élevées et un effort modéré pour la fabrication des éprouvettes.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

décembre 2012

Nombre de pages

15 p.

Référence

NF EN 62047-10

Codes ICS

31.080.99   Autres dispositifs à semi-conducteurs

Indice de classement

C96-050-10

Numéro de tirage

1 - 24/01/2013

Parenté internationale

IEC 62047-10:2011

Parenté européenne

EN 62047-10:2011
Résumé
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10 : essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS

Le présent document spécifie une méthode d'essai de compression utilisant la technique des micro-piliers destinée à mesurer les propriétés de compression des matériaux des MEMS avec une précision et une répétabilité élevées et un effort modéré pour la fabrication des éprouvettes.
Sommaire
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  • AVANT-PROPOS
    2
  • 1 Domaine d'application
    4
  • 2 Références normatives
    4
  • 3 Symboles et désignations
    4
  • 4 Éprouvette d'essai
    5
  • 4.1 Généralités
    5
  • 4.2 Forme de l'éprouvette d'essai
    5
  • 4.3 Mesure des dimensions
    6
  • 5 Méthode et appareillage d'essai
    6
  • 5.1 Principe d'essai
    6
  • 5.2 Machine d'essai
    7
  • 5.3 Procédure d'essai
    8
  • 5.4 Environnement d'essai
    8
  • 6 Rapport d'essai
    9
  • Annexe A (informative) Estimation d'erreur utilisant la méthode des éléments finis
    10
  • Annexe ZA (normative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes
    11
  • Bibliographie
    12
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