NF EN 62047-13

NF EN 62047-13

décembre 2012
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13 : méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS

Le présent document spécifie la méthode d'essai d'adhérence entre des éléments microminiaturisés et un substrat au moyen d'éprouvettes de forme en colonnes. Il peut être appliqué à la mesure de la résistance d'adhérence des microstructures, préparées sur un substrat, dont la largeur et l'épaisseur sont de 1 mm à 1 mm, respectivement.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

décembre 2012

Nombre de pages

19 p.

Référence

NF EN 62047-13

Codes ICS

31.080.99   Autres dispositifs à semi-conducteurs

Indice de classement

C96-050-13

Numéro de tirage

1 - 09/01/2013

Parenté internationale

IEC 62047-13:2012

Parenté européenne

EN 62047-13:2012
Résumé
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13 : méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS

Le présent document spécifie la méthode d'essai d'adhérence entre des éléments microminiaturisés et un substrat au moyen d'éprouvettes de forme en colonnes. Il peut être appliqué à la mesure de la résistance d'adhérence des microstructures, préparées sur un substrat, dont la largeur et l'épaisseur sont de 1 mm à 1 mm, respectivement.
Sommaire
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  • Avant-propos
    2
  • 1 Domaine d'application
    4
  • 2 Références normatives
    4
  • 3 Termes et définitions
    5
  • 4 Méthode d'essai
    6
  • 4.1 Généralités
    6
  • 4.2 Analyse des données
    7
  • 5 Équipement d'essai
    8
  • 5.1 Généralités
    8
  • 5.2 Actionneur
    8
  • 5.3 Capteur de mesure de la force
    8
  • 5.4 Système d'alignement
    8
  • 5.5 Appareil enregistreur
    8
  • 6 Éprouvettes d'essai
    9
  • 6.1 Conception des éprouvettes d'essai
    9
  • 6.2 Préparation des éprouvettes d'essai
    9
  • 7 Conditions d'essais
    9
  • 7.1 Méthode de préhension
    9
  • 7.2 Vitesse d'essai
    9
  • 7.3 Alignement de l'éprouvette d'essai
    10
  • 7.4 Environnement d'essai
    10
  • 8 Rapport d'essai
    11
  • Annexe A (informative) Contexte technique
    12
  • Annexe ZA (normative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes
    16
  • Bibliographie
    17
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