NF EN 62047-4
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 4 : spécification générique pour les MEMS
Le présent document décrit des spécifications génériques pour les systèmes électromécaniques microminiaturisés (MEMS, Micro-Electro Mechanical Systems) faits à partir de semi-conducteurs, constituant la base des spécifications présentées dans d'autres parties de cette série pour différents types d'applications basées sur des MEMS, telles que des capteurs et les MEMS-RF, à l'exclusion des MEMS optiques, des bio-MEMS, des micro-TAS et des MEMS de puissance. Ce document spécifie les procédures générales d'évaluation de la qualité à utiliser dans le système IECQ-CECC et établit les principes généraux nécessaires pour décrire et tester les caractéristiques électriques, optiques, mécaniques et environnementales.
Le présent document décrit des spécifications génériques pour les systèmes électromécaniques microminiaturisés (MEMS, Micro-Electro Mechanical Systems) faits à partir de semi-conducteurs, constituant la base des spécifications présentées dans d'autres parties de cette série pour différents types d'applications basées sur des MEMS, telles que des capteurs et les MEMS-RF, à l'exclusion des MEMS optiques, des bio-MEMS, des micro-TAS et des MEMS de puissance. Ce document spécifie les procédures générales d'évaluation de la qualité à utiliser dans le système IECQ-CECC et établit les principes généraux nécessaires pour décrire et tester les caractéristiques électriques, optiques, mécaniques et environnementales.
- Avant-propos2
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1 Domaine d'application4
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2 Références normatives4
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3 Termes, définitions, unités et symboles5
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4 Conditions d'environnement normales7
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5 Marquage7
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5.1 Identification de dispositif7
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5.2 Traçabilité du dispositif7
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5.3 Encapsulation7
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6 Procédures d'évaluation de la qualité7
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6.1 Généralités7
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6.2 Procédure d'homologation8
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7 Procédures d'essai et de mesure13
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7.1 Conditions normales et précautions générales13
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7.2 Examen physique13
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7.3 Essais climatiques et mécaniques13
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7.4 Méthodes d'essai de remplacement14
- Annexe A (normative) Procédures d'échantillonnage15
- Annexe B (informative) Classification des technologies et des dispositifs MEMS16
- Annexe ZA (normative)Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes20
- Bibliographie22
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