NF EN 62047-6

NF EN 62047-6

septembre 2010
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6 : méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince

Le présent document spécifie la méthode relative à l'essai de fatigue pour une force axiale de traction-traction des matériaux en couche mince de longueur et largeur inférieures à 1 mm et d'une épaisseur comprise entre 0,1 m et 10 m dans le cadre d'une gamme de force constante ou d'une gamme de déplacement constant.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

septembre 2010

Nombre de pages

35 p.

Référence

NF EN 62047-6

Codes ICS

29.045   Matériaux semi-conducteurs
31.080.01   Dispositifs à semi-conducteurs en général

Indice de classement

C96-050-6

Numéro de tirage

1 - 23/09/2010

Parenté internationale

IEC 62047-6:2009

Parenté européenne

EN 62047-6:2010
Résumé
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6 : méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince

Le présent document spécifie la méthode relative à l'essai de fatigue pour une force axiale de traction-traction des matériaux en couche mince de longueur et largeur inférieures à 1 mm et d'une épaisseur comprise entre 0,1 m et 10 m dans le cadre d'une gamme de force constante ou d'une gamme de déplacement constant.
Sommaire
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  • Avant-propos
    4
  • 1 Domaine d'application
    6
  • 2 Références normatives
    6
  • 3 Termes et définitions
    6
  • 4 Éprouvette d'essai
    8
  • 5 Méthode d'essai et appareillage d'essai
    8
  • 6 Endurances (fin de l'essai)
    10
  • 7 Rapport d'essai
    10
  • Annexe A (informative) Contexte technique de la présente norme
    11
  • Annexe B (informative) Eprouvette d'essai
    12
  • Annexe C (informative) Mesure du déplacement
    13
  • Annexe D (informative) Environnement d'essai
    14
  • Annexe E (informative) Nombre d'éprouvettes d'essai
    15
  • Bibliographie
    16
  • Annexe ZA (informative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes
    17
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