Le présent document décrit la terminologie, les définitions, les symboles et des méthodes d'essai qui peuvent être utilisés pour évaluer et déterminer les paramètres des caractéristiques et des valeurs assignées essentielles des commutateurs MEMS-RF.

Le présent document définit les termes, les définitions, les symboles, les configurations, et les méthodes d'essai susceptibles d'être utilisés pour évaluer et déterminer les caractéristiques d'aptitude à la fonction des dispositifs de résonateurs, filtres et duplexeurs BAW en tant que dispositifs de commande et de choix des fréquences radioélectriques.

Le présent document spécifie une méthode d'essai de compression utilisant la technique des micro-piliers destinée à mesurer les propriétés de compression des matériaux des MEMS avec une précision et une répétabilité élevées et un effort modéré pour la fabrication des éprouvettes.

Le présent document décrit des spécifications génériques pour les systèmes électromécaniques microminiaturisés (MEMS, Micro-Electro Mechanical Systems) faits à partir de semi-conducteurs, constituant la base des spécifications présentées dans d'autres parties de cette série pour différents types d'applications basées sur des MEMS, telles que des capteurs et les MEMS-RF, à l'exclusion des MEMS optiques, des bio-MEMS, des micro-TAS et des MEMS de puissance. Ce document spécifie les procédures générales d'évaluation de la qualité à utiliser dans le système IECQ-CECC et établit les principes généraux nécessaires pour décrire et tester les caractéristiques électriques, optiques, mécaniques et environnementales.

Le présent document spécifie la méthode pour les essais de traction des matériaux en couche mince d'une longueur et d'une largeur inférieure à 1 mm et d'une épaisseur inférieure à 10 micro m, qui sont des matériaux structurels principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues.

Le présent document spécifie une éprouvette d'essai normalisée, qui est utilisée pour garantir le bien-fondé et la précision du système d'essais de traction pour les matériaux en couche mince avec une longueur et une largeur inférieures à 1 mm et une épaisseur inférieure à 10 micro m, et qui sont des matériaux de structure principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), les micromachines et dispositifs analogues.

Le présent document spécifie la détermination du coefficient de Poisson à partir des résultats obtenus par l'application d'essais de charges uniaxiales et biaxiales aux matériaux pour systèmes microélectromécaniques (MEMS, Micro-Electrical-Mechanical Systems) à couche mince dont les longueurs et les largeurs sont inférieures à 10 mm et les épaisseurs sont inférieures à 10 mu m.

Le présent document définit les méthodes d'essai permettant de mesurer les contraintes résiduelles des films dont l'épaisseur se situe dans la plage de 0,01 micron m à 10 micron m dans des structures fabriquées de microsystèmes électromécaniques (MEMS) au moyen des méthodes de la courbure de la plaquette ou de déviation de poutre en porte-à-faux.