FD ISO/TR 22335
Analyse chimique des surfaces - Profilage en profondeur - Mesurage de la vitesse de pulvérisation : méthode par empreinte de grille au moyen d'un profilomètre à stylet mécanique
L'ISO/TR 22335:2007 décrit une méthode de détermination des vitesses de pulvérisation d'ions pour les mesurages de profil en profondeur par spectroscopie des électrons Auger (AES) et spectroscopie de photoélectrons par rayons X (XPS), lorsque l'échantillon subit une pulvérisation d'ions sur une surface comprise entre 0,4 mm2 et 3,0 mm2. Ce Rapport technique n'est applicable qu'à un matériau latéralement homogène en volume ou à un matériau monocouche pour lequel la vitesse de pulvérisation est déterminée à partir de la profondeur pulvérisée, mesurée par un profilomètre à stylet mécanique, et de la durée de pulvérisation. L'ISO/TR 22335:2007 fournit une méthode pour convertir la durée de pulvérisation d'ions en profondeur pulvérisée dans un profil en profondeur, en supposant une vitesse de pulvérisation constante. La méthode n'a pas été conçue, ni testée, pour être utilisée avec un microscope en champ proche. Elle n'est pas applicable lorsque la surface pulvérisée est inférieure à 0,4 mm2 ou lorsque la rugosité induite par la pulvérisation est significative en comparaison de la profondeur pulvérisée à mesurer.
L'ISO/TR 22335:2007 décrit une méthode de détermination des vitesses de pulvérisation d'ions pour les mesurages de profil en profondeur par spectroscopie des électrons Auger (AES) et spectroscopie de photoélectrons par rayons X (XPS), lorsque l'échantillon subit une pulvérisation d'ions sur une surface comprise entre 0,4 mm2 et 3,0 mm2. Ce Rapport technique n'est applicable qu'à un matériau latéralement homogène en volume ou à un matériau monocouche pour lequel la vitesse de pulvérisation est déterminée à partir de la profondeur pulvérisée, mesurée par un profilomètre à stylet mécanique, et de la durée de pulvérisation.
L'ISO/TR 22335:2007 fournit une méthode pour convertir la durée de pulvérisation d'ions en profondeur pulvérisée dans un profil en profondeur, en supposant une vitesse de pulvérisation constante. La méthode n'a pas été conçue, ni testée, pour être utilisée avec un microscope en champ proche. Elle n'est pas applicable lorsque la surface pulvérisée est inférieure à 0,4 mm2 ou lorsque la rugosité induite par la pulvérisation est significative en comparaison de la profondeur pulvérisée à mesurer.
- Avant-proposiv
- Introductionv
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1 Domaine d'application1
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2 Termes et définitions1
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3 Symboles et abréviations2
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4 Principe2
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5 Mode opératoire2
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5.1 Création du motif répétitif2
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5.2 Mesurage de la profondeur du cratère de pulvérisation à l'aide d'un profilomètre à stylet mécanique8
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5.3 Estimation de la vitesse de pulvérisation11
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6 Résumé des résultats de l'essai interlaboratoires11
- Annexe A (informative) Géométrie de la surface de l'échantillon et du canon à ions12
- Annexe B (informative) Motifs répétitifs en fonction de la taille de l'ouverture de maille15
- Bibliographie18
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