ISO 15472:2010
Analyse chimique des surfaces - Spectromètres de photoélectrons X - Étalonnage en énergie
L'ISO 15472:2010 spécifie une méthode d'étalonnage des échelles d'énergie de liaison des spectromètres de photoélectrons X, appliquée à des fins analytiques générales et utilisant une source X non monochromatique d'Al ou de Mg ou une source X monochromatique d'Al. Elle n'est applicable qu'à des instruments qui comportent un canon ionique pour un nettoyage par pulvérisation. Elle spécifie en outre une méthode permettant d'établir un programme d'étalonnage, de tester la linéarité de l'échelle d'énergie de liaison à une énergie intermédiaire, de confirmer l'incertitude d'étalonnage de l'échelle à une valeur faible et à une valeur élevée de l'énergie de liaison, de corriger les petites dérives de cette échelle et de définir l'intervalle de confiance de l'étalonnage de l'échelle d'énergie de liaison correspondant à une probabilité de 95 %. Cette incertitude comprend la contribution des comportements observés lors d'études interlaboratoires, mais ne couvre pas l'ensemble des défauts qui peuvent se produire. L'ISO 15472:2010 ne s'applique pas à des instruments comportant des erreurs d'échelle d'énergie de liaison qui sont significativement non linéaires, à des instruments fonctionnant en mode de coefficient de retardement constant à des coefficients de retardement inférieurs à 10, à des instruments dont la résolution du spectromètre est inférieure à 1,5 eV, ou à des instruments exigeant des limites de tolérance de ±0,03 eV ou moins. Elle ne fournit pas de vérification complète de l'étalonnage, qui confirmerait l'énergie mesurée à chaque point adressable de l'échelle d'énergie et qui devrait être réalisée conformément aux procédures recommandées par le fabricant.
L'ISO 15472:2010 spécifie une méthode d'étalonnage des échelles d'énergie de liaison des spectromètres de photoélectrons X, appliquée à des fins analytiques générales et utilisant une source X non monochromatique d'Al ou de Mg ou une source X monochromatique d'Al. Elle n'est applicable qu'à des instruments qui comportent un canon ionique pour un nettoyage par pulvérisation. Elle spécifie en outre une méthode permettant d'établir un programme d'étalonnage, de tester la linéarité de l'échelle d'énergie de liaison à une énergie intermédiaire, de confirmer l'incertitude d'étalonnage de l'échelle à une valeur faible et à une valeur élevée de l'énergie de liaison, de corriger les petites dérives de cette échelle et de définir l'intervalle de confiance de l'étalonnage de l'échelle d'énergie de liaison correspondant à une probabilité de 95 %. Cette incertitude comprend la contribution des comportements observés lors d'études interlaboratoires, mais ne couvre pas l'ensemble des défauts qui peuvent se produire. L'ISO 15472:2010 ne s'applique pas à des instruments comportant des erreurs d'échelle d'énergie de liaison qui sont significativement non linéaires, à des instruments fonctionnant en mode de coefficient de retardement constant à des coefficients de retardement inférieurs à 10, à des instruments dont la résolution du spectromètre est inférieure à 1,5 eV, ou à des instruments exigeant des limites de tolérance de ±0,03 eV ou moins. Elle ne fournit pas de vérification complète de l'étalonnage, qui confirmerait l'énergie mesurée à chaque point adressable de l'échelle d'énergie et qui devrait être réalisée conformément aux procédures recommandées par le fabricant.
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