NF A91-116
Revêtements métalliques - Mesure de l'épaisseur par spectrométrie de rayons X
<p> AVERTISSEMENT : La présente Norme internationale ne traite pas des problèmes de protection du personnel contre les rayons X. Pour tout renseignement sur cet aspect essentiel, il convient de se référer aux Normes internationales et normes nationales, ainsi qu'aux codes locaux, s'il en existe. La présente Norme internationale spécifie des méthodes de mesurage, par spectrométrie de rayons X, de l'épaisseur des revêtements métalliques. Les méthodes de mesurage de la présente Norme internationale sont applicables, avant tout, à la détermination de la masse de revêtement par unité de surface. Connaissant la masse volumique du matériau de revêtement, il est possible, également, d'exprimer les résultats mesurés en épaisseur linéaire de revêtement. Les méthodes de mesurage permettent de mesurer simultanément les systèmes de revêtement ayant jusqu'à trois couches, ou de mesurer simultanément l'épaisseur et les compositions des couches ayant jusqu'à trois composants. Les plages pratiques de mesurage des matériaux de revêtement indiqués sont largement fonction de la puissance de la fluorescence X caractéristique à analyser et de l'incertitude de mesure tolérée, et peuvent différer selon l'appareillage et le mode opératoire utilisés. </p>
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1. OBJET ET DOMAINE D'APPLICATION2
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2. PRINCIPE2
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2.1 EXCITATION2
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2.2 DISPERSION2
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2.3 DÉTECTION2
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2.4 PRINCIPE DE BASE2
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2.5 MESURE DE L'ÉPAISSEUR PAR ÉMISSION DE RAYONS X2
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2.6 MESURE DE L'ÉPAISSEUR PAR ABSORPTION DE RAYONS X3
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2.7 MESURE DE L'ÉPAISSEUR DES SOUS-COUCHES3
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3. FACTEURS INFLUANT SUR LA PRÉCISION3
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3.1 STATISTIQUES DE COMPTAGE3
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3.2 ÉPAISSEUR DU REVÊTEMENT3
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3.3 DIMENSIONS DE LA SURFACE DE MESURE3
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3.4 COMPOSITION DU REVÊTEMENT4
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3.5 MASSE VOLUMIQUE4
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3.6 COMPOSITION DU SUBSTRAT4
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3.7 ÉPAISSEUR DU SUBSTRAT4
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3.8 PROPRETÉ DE LA SURFACE4
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3.9 COURBURE DE L'ÉCHANTILLON4
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3.10 ÉNERGIE D'EXCITATION4
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3.11 DÉTECTEUR5
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3.12 TRAJECTOIRE DU RAYONNEMENT5
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3.13 CONVERSION DU TAUX DE COMPTAGE EN ÉPAISSEUR5
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4. ÉTALONNAGE5
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4.1 GÉNÉRALITÉS5
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4.2 ÉTALONS5
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5. MODE OPÉRATOIRE6
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6. PRÉCISION6
- ANNEXES
- ANNEXE A - Courbes d'étalonnage7
- ANNEXE B - Revêtements composés de deux couches8
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