NF EN 62374-1

NF EN 62374-1

juin 2011
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Partie 1 : essai de rupture diélectrique en fonction du temps (TDDB) pour les couches intermétalliques

Le présent document décrit une méthode d'essai de la rupture diélectrique en fonction du temps (TDDB) pour films diélectriques de grille des dispositifs à semiconducteurs et une méthode d'estimation de la durée de vie de produit en présence d'une défaillance de type TDDB.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

juin 2011

Nombre de pages

36 p.

Référence

NF EN 62374-1

Codes ICS

31.080.01   Dispositifs à semi-conducteurs en général

Indice de classement

C96-017-1

Numéro de tirage

1 - 27/06/2011

Parenté internationale

IEC 62374-1:2010

Parenté européenne

EN 62374-1:2010
Résumé
Dispositifs à semiconducteurs - Partie 1 : essai de rupture diélectrique en fonction du temps (TDDB) pour les couches intermétalliques

Le présent document décrit une méthode d'essai de la rupture diélectrique en fonction du temps (TDDB) pour films diélectriques de grille des dispositifs à semiconducteurs et une méthode d'estimation de la durée de vie de produit en présence d'une défaillance de type TDDB.
Sommaire
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  • 1 Domaine d'application
    4
  • 2 Termes et définitions
    4
  • 3 Matériel d'essai
    6
  • 4 Echantillons d'essai
    6
  • 4.1 Généralités
    6
  • 4.2 Structure d'essai: structure de condensateur
    6
  • 4.3 Surface
    7
  • 5 Procédures
    7
  • 5.1 Généralités
    7
  • 5.2 Essai préalable
    9
  • 5.3 Conditions d'essai
    9
  • 5.4 Critères
    9
  • 6 Estimation de durée de vie
    12
  • 6.1 Généralités
    12
  • 6.2 Modèle d'accélération
    12
  • 6.3 Procédure de l'estimation de la durée de vie
    14
  • 7 Dépendance de la durée de vie par rapport à la surface de l'oxyde de grille
    17
  • Annexe A (informative) Condition d'essai de détermination supplémentaire et analyse des données
    18
  • Bibliographie
    21
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