NF EN 62374

NF EN 62374

janvier 2008
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconductors - Essai de rupture diélectrique en fonction du temps (TDDB) pour films diélectriques de grille

Ce document décrit une méthode d'essai de la rupture diélectrique en fonction du temps (TDDB) pour films diélectriques de grille des dispositifs à semi-conducteurs et une méthode d'estimation de la durée de vie de produit en présence d'une défaillance de type TDDB.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

janvier 2008

Nombre de pages

46 p.

Référence

NF EN 62374

Codes ICS

31.080.01   Dispositifs à semi-conducteurs en général

Indice de classement

C96-017

Numéro de tirage

1 - 04/02/2008

Parenté internationale

IEC 62374:2007

Parenté européenne

EN 62374:2007
Résumé
Dispositifs à semiconductors - Essai de rupture diélectrique en fonction du temps (TDDB) pour films diélectriques de grille

Ce document décrit une méthode d'essai de la rupture diélectrique en fonction du temps (TDDB) pour films diélectriques de grille des dispositifs à semi-conducteurs et une méthode d'estimation de la durée de vie de produit en présence d'une défaillance de type TDDB.
Sommaire
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  • AVANT-PROPOS
    2
  • 1 Domaine d'application
    4
  • 2 Termes et définitions
    4
  • 3 Matériel d'essai
    6
  • 4 Echantillons d'essai
    6
  • 4.1 Généralités
    6
  • 4.2 Structure d'essai: structure de condensateur
    6
  • 4.3 Surface
    7
  • 5 Procédures
    7
  • 5.1 Généralités
    7
  • 5.2 Essai préalable
    9
  • 5.3 Conditions d'essai
    9
  • 5.4 Critères
    9
  • 6 Estimation de durée de vie
    12
  • 6.1 Généralités
    12
  • 6.2 Modèle d'accélération
    12
  • 6.3 Procédure de l'estimation de la durée de vie
    14
  • 7 Dépendance de la durée de vie par rapport à la surface de l'oxyde de grille
    17
  • Annexe A (informative) Condition d'essai de détermination supplémentaire et analyse des données
    18
  • Bibliographie
    21
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