NF EN ISO 14644-10
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 10 : classification de la propreté chimique des surfaces
L'ISO 14644-10:2013 définit le système de classification de la propreté des surfaces dans les salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes et particules). Elle s'applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé, telle que murs, plafonds, sols, plans de travail, outils, équipements et dispositifs.
L'ISO 14644-10:2013 définit le système de classification de la propreté des surfaces dans les salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes et particules). Elle s'applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé, telle que murs, plafonds, sols, plans de travail, outils, équipements et dispositifs.
<p>Le présent document définit les procédés d’essai appropriés afin de déterminer la propreté des surfaces dans les salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes et particules). Il s’applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé apparenté, telle que les murs, plafonds, sols, surfaces de travail, outils, équipements et dispositifs.</p> <p>NOTE 1 Il n’est tenu compte que des caractéristiques chimiques des particules aux fins du présent document. Leurs propriétés physiques sont ignorées et le présent document ne traite pas non plus les interactions entre la contamination et la surface.</p> <p>NOTE 2 Le présent document n’inclut pas la génération de contamination ni aucune influence dépendant du temps (dépôt, sédimentation, vieillissement, etc.) ni aucune activité dépendant des procédés telle que le transport et la manipulation. Il ne comporte pas non plus de recommandations relatives aux techniques statistiques de maîtrise de la qualité permettant d’assurer la conformité.</p>
- Avant-proposiv
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1 Domaine d'application1
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2 Références normatives1
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3 Termes et définitions1
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4 Classification2
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4.1 Principes d'établissement de la classification de la propreté chimique des surfaces dans les salles propres et environnements contrôlés2
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4.2 Classification de la propreté des surfaces par la concentration en chimiques2
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4.3 Désignation ISO-SCC4
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4.4 Conversions en concentration atomique par unité de surface4
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5 Mesurer et surveiller la propreté des surfaces par rapport à la contamination chimique et démontrer la conformité5
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5.1 Critères d'évaluation de la propreté5
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5.2 Documentation et rapport6
- Annexe A (informative) Conversion entre différentes unités d'expression de la concentration surfacique des substances chimiques8
- Annexe B (informative) Paramètres influençant les essais et l'interprétation des résultats15
- Annexe C (informative) Considérations essentielles pour une évaluation correcte de la propreté.16
- Annexe D (informative) Méthodes de détermination de la propreté chimique de surface18
- Annexe E (informative) Documentation relative à l'enregistrement des essais31
- Bibliographie32
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