NF EN ISO 25178-603

NF EN ISO 25178-603

décembre 2013
Norme En vigueur

Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : surfacique - Partie 603 : caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques à glissement de franges)

L'ISO 25178-603:2013 décrit les caractéristiques métrologiques des microscopes de mesure de profil et d'état de surface surfacique par interférométrie à glissement de franges (PSI).

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

décembre 2013

Nombre de pages

38 p.

Référence

NF EN ISO 25178-603

Codes ICS

17.040.20   Etat de surfaces
17.040.40   Spécification géométrique des produits (GPS)

Indice de classement

E05-031-603

Numéro de tirage

1 - 22/11/2013

Parenté internationale

ISO 25178-603:2013

Parenté européenne

EN ISO 25178-603:2013
Résumé
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : surfacique - Partie 603 : caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques à glissement de franges)

L'ISO 25178-603:2013 décrit les caractéristiques métrologiques des microscopes de mesure de profil et d'état de surface surfacique par interférométrie à glissement de franges (PSI).

Sommaire
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  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    vi
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Termes et définitions
    1
  • 2.1 Termes et définitions liés à toutes les méthodes de mesure de l'état de surface surfacique
    1
  • 2.2 Termes et définitions liés aux systèmes de balayage x et y
    8
  • 2.3 Termes et définitions liés aux systèmes optiques
    10
  • 2.4 Termes et définitions liés aux propriétés optiques de la pièce
    12
  • 2.5 Termes et définitions spécifiques à la microscopie interférométrique à glissement de franges
    12
  • 3 Descriptions des grandeurs d'influence
    13
  • 3.1 Généralités
    13
  • 3.2 Grandeurs d'influence
    14
  • Annexe A (informative) Composants d'un microscope interférométrique à glissement de franges (PSI)
    16
  • Annexe B (informative) Principe de fonctionnement d'un microscope interférométrique à glissement de franges (PSI)
    17
  • Annexe C (informative) Erreurs et corrections des microscopes interférométriques à glissement de franges (PSI)
    22
  • Annexe D (informative) Relation avec la matrice GPS
    25
  • Bibliographie
    27
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