NF ISO 17973

NF ISO 17973

avril 2006
Norme En vigueur

Analyse chimique des surfaces - Spectromètres d'électrons Auger à résolution moyenne - Étalonnage des échelles d'énergie pour l'analyse élémentaire

L'ISO 17973:2002 précise une méthode d'étalonnage des échelles d'énergie cinétique des spectromètres d'électrons Auger avec une incertitude de 3 eV, pour une utilisation analytique générale relative à l'identification des éléments au niveau des surfaces. En outre, elle spécifie une méthode permettant d'établir un calendrier d'étalonnage. Elle s'applique à des instruments utilisés en mode direct ou dérivé, pour lesquels la résolution est inférieure ou égale à 0,5 % et l'amplitude de modulation en mode dérivé, s'il est utilisé, est de 2 eV de pic à pic. Elle s'applique aux spectromètres équipés d'un canon à ions à gaz inerte ou d'une autre méthode de nettoyage des échantillons et d'un canon à électrons pouvant fonctionner à une énergie de faisceau de 4 keV ou plus.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

avril 2006

Nombre de pages

17 p.

Référence

NF ISO 17973

Codes ICS

71.040.40   Méthodes d'analyse chimique

Indice de classement

X21-054

Numéro de tirage

1 - 24/03/2006

Parenté internationale

Résumé
Analyse chimique des surfaces - Spectromètres d'électrons Auger à résolution moyenne - Étalonnage des échelles d'énergie pour l'analyse élémentaire

L'ISO 17973:2002 précise une méthode d'étalonnage des échelles d'énergie cinétique des spectromètres d'électrons Auger avec une incertitude de 3 eV, pour une utilisation analytique générale relative à l'identification des éléments au niveau des surfaces. En outre, elle spécifie une méthode permettant d'établir un calendrier d'étalonnage. Elle s'applique à des instruments utilisés en mode direct ou dérivé, pour lesquels la résolution est inférieure ou égale à 0,5 % et l'amplitude de modulation en mode dérivé, s'il est utilisé, est de 2 eV de pic à pic. Elle s'applique aux spectromètres équipés d'un canon à ions à gaz inerte ou d'une autre méthode de nettoyage des échantillons et d'un canon à électrons pouvant fonctionner à une énergie de faisceau de 4 keV ou plus.

Sommaire
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  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    v
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Références normatives
    1
  • 3 Termes et définitions
    1
  • 4 Symboles et termes abrégés
    1
  • 5 Aperçu de la méthode
    2
  • 6 Procédures d'étalonnage de l'échelle d'énergie
    3
  • 6.1 Obtention des échantillons de référence
    3
  • 6.2 Montage des échantillons
    3
  • 6.3 Nettoyage des échantillons
    3
  • 6.4 Choix des réglages du spectromètre pour l'étalonnage de l'énergie
    5
  • 6.5 Fonctionnement de l'instrument
    5
  • 6.6 Mesurage des pics de référence
    6
  • 6.7 Détermination des énergies cinétiques mesurées des pics de référence
    8
  • 6.8 Détermination de la correction de l'échelle d'énergie cinétique de l'instrument
    8
  • 6.9 Étalonnage suivant
    9
  • Bibliographie
    11
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