NF ISO 17973
Analyse chimique des surfaces - Spectromètres d'électrons Auger à résolution moyenne - Étalonnage des échelles d'énergie pour l'analyse élémentaire
L'ISO 17973:2002 précise une méthode d'étalonnage des échelles d'énergie cinétique des spectromètres d'électrons Auger avec une incertitude de 3 eV, pour une utilisation analytique générale relative à l'identification des éléments au niveau des surfaces. En outre, elle spécifie une méthode permettant d'établir un calendrier d'étalonnage. Elle s'applique à des instruments utilisés en mode direct ou dérivé, pour lesquels la résolution est inférieure ou égale à 0,5 % et l'amplitude de modulation en mode dérivé, s'il est utilisé, est de 2 eV de pic à pic. Elle s'applique aux spectromètres équipés d'un canon à ions à gaz inerte ou d'une autre méthode de nettoyage des échantillons et d'un canon à électrons pouvant fonctionner à une énergie de faisceau de 4 keV ou plus.
L'ISO 17973:2002 précise une méthode d'étalonnage des échelles d'énergie cinétique des spectromètres d'électrons Auger avec une incertitude de 3 eV, pour une utilisation analytique générale relative à l'identification des éléments au niveau des surfaces. En outre, elle spécifie une méthode permettant d'établir un calendrier d'étalonnage. Elle s'applique à des instruments utilisés en mode direct ou dérivé, pour lesquels la résolution est inférieure ou égale à 0,5 % et l'amplitude de modulation en mode dérivé, s'il est utilisé, est de 2 eV de pic à pic. Elle s'applique aux spectromètres équipés d'un canon à ions à gaz inerte ou d'une autre méthode de nettoyage des échantillons et d'un canon à électrons pouvant fonctionner à une énergie de faisceau de 4 keV ou plus.
- Avant-proposiv
- Introductionv
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1 Domaine d'application1
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2 Références normatives1
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3 Termes et définitions1
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4 Symboles et termes abrégés1
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5 Aperçu de la méthode2
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6 Procédures d'étalonnage de l'échelle d'énergie3
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6.1 Obtention des échantillons de référence3
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6.2 Montage des échantillons3
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6.3 Nettoyage des échantillons3
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6.4 Choix des réglages du spectromètre pour l'étalonnage de l'énergie5
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6.5 Fonctionnement de l'instrument5
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6.6 Mesurage des pics de référence6
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6.7 Détermination des énergies cinétiques mesurées des pics de référence8
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6.8 Détermination de la correction de l'échelle d'énergie cinétique de l'instrument8
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6.9 Étalonnage suivant9
- Bibliographie11
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