NF ISO 18516
Analyse chimique des surfaces - Spectroscopie d'électrons Auger et spectroscopie de photoélectrons de rayons X - Détermination de la résolution latérale
L'ISO 18516:2006 décrit trois procédés pour mesurer la résolution latérale obtenue dans les spectromètres d'électrons Auger et les spectromètres de photoélectrons par rayons X avec des réglages définis. Le procédé du bord rectiligne convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être supérieure à 1 micromètre. Le procédé de la grille convient si la résolution latérale est supposée être inférieure à 1 micromètre mais supérieure à 20 nm. Le procédé de l'îlot d'or convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être inférieure à 50 nm. Les Annexes A, B et C fournissent des exemples illustratifs de la mesure de la résolution latérale.
L'ISO 18516:2006 décrit trois procédés pour mesurer la résolution latérale obtenue dans les spectromètres d'électrons Auger et les spectromètres de photoélectrons par rayons X avec des réglages définis. Le procédé du bord rectiligne convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être supérieure à 1 micromètre. Le procédé de la grille convient si la résolution latérale est supposée être inférieure à 1 micromètre mais supérieure à 20 nm. Le procédé de l'îlot d'or convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être inférieure à 50 nm.
Les Annexes A, B et C fournissent des exemples illustratifs de la mesure de la résolution latérale.
- Avant-proposiv
- Introductionv
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1 Domaine d'application1
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2 Références normatives1
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3 Termes, définitions, symboles et termes abrégés1
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3.1 Termes et définitions1
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3.2 Symboles et termes abrégés2
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4 Informations générales2
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4.1 Informations préalables2
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4.2 Mesure de la résolution latérale en AES et en XPS3
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4.3 Dépendance de la résolution latérale par rapport à la direction de balayage3
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4.4 Procédés de mesure de la résolution latérale en AES et en XPS4
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5 Mesure de la résolution latérale avec le procédé du bord rectiligne5
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5.1 Introduction5
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5.2 Variantes du procédé du bord rectiligne5
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5.3 Choix de l'échantillon à bord rectiligne5
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5.4 Montage de l'échantillon à bord rectiligne6
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5.5 Nettoyage de l'échantillon à bord rectiligne6
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5.6 Fonctionnement de l'instrument6
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5.7 Collecte des données6
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5.8 Analyse des données9
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6 Mesure de la résolution latérale à l'aide du procédé de la grille10
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6.1 Introduction10
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6.2 Choix de l'échantillon de grille10
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6.3 Montage de l'échantillon de grille11
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6.4 Nettoyage de l'échantillon de grille11
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6.5 Fonctionnement de l'instrument11
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6.6 Collecte des données11
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6.7 Analyse des données13
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7 Mesure de la résolution latérale à l'aide du procédé de l'îlot d'or13
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7.1 Introduction13
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7.2 Choix de l'échantillon aux îlots d'or13
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7.3 Montage de l'échantillon aux îlots d'or14
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7.4 Nettoyage de l'échantillon aux îlots d'or14
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7.5 Fonctionnement de l'instrument14
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7.6 Collecte des données15
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7.7 Analyse des données17
- Annexe A (informative) Détermination de la résolution latérale d'un instrument XPS avec un spot focalisé de rayons X18
- Annexe B (informative) Détermination de la résolution latérale à partir d'un balayage linéaire des électrons secondaires20
- Annexe C (informative) Détermination de la résolution latérale des balayages linéaires des électrons Auger22
- Bibliographie25
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