NF ISO 18516

NF ISO 18516

avril 2008
Norme Annulée

Analyse chimique des surfaces - Spectroscopie d'électrons Auger et spectroscopie de photoélectrons de rayons X - Détermination de la résolution latérale

L'ISO 18516:2006 décrit trois procédés pour mesurer la résolution latérale obtenue dans les spectromètres d'électrons Auger et les spectromètres de photoélectrons par rayons X avec des réglages définis. Le procédé du bord rectiligne convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être supérieure à 1 micromètre. Le procédé de la grille convient si la résolution latérale est supposée être inférieure à 1 micromètre mais supérieure à 20 nm. Le procédé de l'îlot d'or convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être inférieure à 50 nm. Les Annexes A, B et C fournissent des exemples illustratifs de la mesure de la résolution latérale.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

avril 2008

Nombre de pages

31 p.

Référence

NF ISO 18516

Codes ICS

71.040.40   Méthodes d'analyse chimique

Indice de classement

X21-061

Numéro de tirage

1 - 07/03/2008

Parenté internationale

ISO 18516:2006
Résumé
Analyse chimique des surfaces - Spectroscopie d'électrons Auger et spectroscopie de photoélectrons de rayons X - Détermination de la résolution latérale

L'ISO 18516:2006 décrit trois procédés pour mesurer la résolution latérale obtenue dans les spectromètres d'électrons Auger et les spectromètres de photoélectrons par rayons X avec des réglages définis. Le procédé du bord rectiligne convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être supérieure à 1 micromètre. Le procédé de la grille convient si la résolution latérale est supposée être inférieure à 1 micromètre mais supérieure à 20 nm. Le procédé de l'îlot d'or convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être inférieure à 50 nm.

Les Annexes A, B et C fournissent des exemples illustratifs de la mesure de la résolution latérale.

Sommaire
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  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    v
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Références normatives
    1
  • 3 Termes, définitions, symboles et termes abrégés
    1
  • 3.1 Termes et définitions
    1
  • 3.2 Symboles et termes abrégés
    2
  • 4 Informations générales
    2
  • 4.1 Informations préalables
    2
  • 4.2 Mesure de la résolution latérale en AES et en XPS
    3
  • 4.3 Dépendance de la résolution latérale par rapport à la direction de balayage
    3
  • 4.4 Procédés de mesure de la résolution latérale en AES et en XPS
    4
  • 5 Mesure de la résolution latérale avec le procédé du bord rectiligne
    5
  • 5.1 Introduction
    5
  • 5.2 Variantes du procédé du bord rectiligne
    5
  • 5.3 Choix de l'échantillon à bord rectiligne
    5
  • 5.4 Montage de l'échantillon à bord rectiligne
    6
  • 5.5 Nettoyage de l'échantillon à bord rectiligne
    6
  • 5.6 Fonctionnement de l'instrument
    6
  • 5.7 Collecte des données
    6
  • 5.8 Analyse des données
    9
  • 6 Mesure de la résolution latérale à l'aide du procédé de la grille
    10
  • 6.1 Introduction
    10
  • 6.2 Choix de l'échantillon de grille
    10
  • 6.3 Montage de l'échantillon de grille
    11
  • 6.4 Nettoyage de l'échantillon de grille
    11
  • 6.5 Fonctionnement de l'instrument
    11
  • 6.6 Collecte des données
    11
  • 6.7 Analyse des données
    13
  • 7 Mesure de la résolution latérale à l'aide du procédé de l'îlot d'or
    13
  • 7.1 Introduction
    13
  • 7.2 Choix de l'échantillon aux îlots d'or
    13
  • 7.3 Montage de l'échantillon aux îlots d'or
    14
  • 7.4 Nettoyage de l'échantillon aux îlots d'or
    14
  • 7.5 Fonctionnement de l'instrument
    14
  • 7.6 Collecte des données
    15
  • 7.7 Analyse des données
    17
  • Annexe A (informative) Détermination de la résolution latérale d'un instrument XPS avec un spot focalisé de rayons X
    18
  • Annexe B (informative) Détermination de la résolution latérale à partir d'un balayage linéaire des électrons secondaires
    20
  • Annexe C (informative) Détermination de la résolution latérale des balayages linéaires des électrons Auger
    22
  • Bibliographie
    25
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