Le présent document, conjointement avec l'ISO 21360‑1, spécifie des méthodes pour le mesurage des caractéristiques fonctionnelles des pompes à vide turbomoléculaires. Elle est applicable à toutes les dimensions et tous les types de pompes turbomoléculaires, y compris: — avec paliers mécaniques ou magnétiques; — avec ou sans étage(s) supplémentaire(s) à entraînement mécanique ou autres étages de pompage sur l'arbre; — avec un ou plusieurs orifices d'entrée. Étant donné que les pompes à vide turbomoléculaires sont accouplées à des pompes de refoulement, leurs performances ne peuvent pas être complètement définies par la courbe de débit-volume. De plus, la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire est importante pour la performance. Les informations suivantes complètent les caractéristiques de performance: — des informations sur les débit et la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire; — la courbe du taux de compression (taux de compression par rapport à la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire).
Le présent document, conjointement avec l'ISO 21360‑1, spécifie des méthodes pour le mesurage des caractéristiques fonctionnelles des pompes à vide turbomoléculaires. Elle est applicable à toutes les dimensions et tous les types de pompes turbomoléculaires, y compris:
— avec paliers mécaniques ou magnétiques;
— avec ou sans étage(s) supplémentaire(s) à entraînement mécanique ou autres étages de pompage sur l'arbre;
— avec un ou plusieurs orifices d'entrée.
Étant donné que les pompes à vide turbomoléculaires sont accouplées à des pompes de refoulement, leurs performances ne peuvent pas être complètement définies par la courbe de débit-volume. De plus, la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire est importante pour la performance.
Les informations suivantes complètent les caractéristiques de performance:
— des informations sur les débit et la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire;
— la courbe du taux de compression (taux de compression par rapport à la pression de refoulement de la pompe à vide turbomoléculaire).
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