NF ISO 18116
Analyse chimique des surfaces - Lignes directrices pour la préparation et le montage des échantillons destinés à l'analyse
L'ISO 18116:2005 donne des indications sur les méthodes de montage et de traitement de surface pour un échantillon destiné à subir une analyse chimique des surfaces. Elle est destinée à l'analyste comme aide permettant de comprendre les conditions de manipulation spécialisées de l'échantillon nécessaires pour des analyses par des techniques telles que la spectroscopie des électrons Auger, la spectrométrie de masse des ions secondaires, et la spectroscopie de photoélectrons par rayons X.
L'ISO 18116:2005 donne des indications sur les méthodes de montage et de traitement de surface pour un échantillon destiné à subir une analyse chimique des surfaces. Elle est destinée à l'analyste comme aide permettant de comprendre les conditions de manipulation spécialisées de l'échantillon nécessaires pour des analyses par des techniques telles que la spectroscopie des électrons Auger, la spectrométrie de masse des ions secondaires, et la spectroscopie de photoélectrons par rayons X.
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1Domaine d'application 1
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2Références normatives 1
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3Termes et définitions 1
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4Symboles et termes abrégés 1
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5Exigences générales 1
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6Inspection visuelle de l'échantillon 2
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7Considérations sur l'échantillon 2
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7.1Historique 2
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7.2Information recherchée 2
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7.3Échantillons précédemment examinés par d'autres techniques analytiques 2
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8Sources de contamination de l'échantillon 3
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8.1Outils, gants, socles de montage, et matériaux similaires 3
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8.2Exposition à des gaz 3
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8.3Exposition au vide instrumental 3
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8.4Exposition aux électrons, aux ions, et aux rayons X 4
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8.5Contamination de la chambre d'analyse 4
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9Stockage et transfert de l'échantillon 4
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9.1Temps de stockage 4
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9.2Récipients de stockage 4
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9.3Température et humidité 5
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9.4Transfert de l'échantillon 5
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10Procédures de montage de l'échantillon 5
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10.1Procédures générales 5
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10.2Poudres et particules 6
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10.3Fils, fibres, et filaments 6
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10.4Support de montage 6
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10.5Réduction des dommages thermiques pendant l'analyse 6
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11Méthodes pour réduire la charge de l'échantillon 7
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11.1Considérations générales 7
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11.2Masque, grille, enveloppe, ou revêtement conducteurs 7
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11.3Canon de neutralisation 7
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11.4Faisceaux d'électrons et d'ions 7
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12Techniques de préparation de l'échantillon 8
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12.1Considérations générales 8
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12.2Séparation mécanique 8
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12.3Amincissement contre élimination 8
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12.4Élimination du substrat 8
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12.5Techniques de coupe 9
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12.6Croissance des surcouches 10
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12.7 Solvants10
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12.8Décapage chimique 11
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12.9Pulvérisation d'ions 11
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12.10Décapage par plasma 12
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12.11 Chauffage12
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12.12Rayonnement ultraviolet 13
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13Fracture, clivage et traçage 13
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13.1 Fracture13
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13.2 Clivage14
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13.3 Traçage14
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14Techniques spéciales de manipulation 14
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14.1Pompage préalable des échantillons contenant des gaz 14
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14.2Liquides visqueux 14
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14.3Résidu dissous 14
- Bibliographie15
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