NF ISO 18116

NF ISO 18116

août 2006
Norme En vigueur

Analyse chimique des surfaces - Lignes directrices pour la préparation et le montage des échantillons destinés à l'analyse

L'ISO 18116:2005 donne des indications sur les méthodes de montage et de traitement de surface pour un échantillon destiné à subir une analyse chimique des surfaces. Elle est destinée à l'analyste comme aide permettant de comprendre les conditions de manipulation spécialisées de l'échantillon nécessaires pour des analyses par des techniques telles que la spectroscopie des électrons Auger, la spectrométrie de masse des ions secondaires, et la spectroscopie de photoélectrons par rayons X.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

août 2006

Nombre de pages

23 p.

Référence

NF ISO 18116

Codes ICS

71.040.40   Méthodes d'analyse chimique

Indice de classement

X21-056

Numéro de tirage

1 - 07/07/2006

Parenté internationale

Résumé
Analyse chimique des surfaces - Lignes directrices pour la préparation et le montage des échantillons destinés à l'analyse

L'ISO 18116:2005 donne des indications sur les méthodes de montage et de traitement de surface pour un échantillon destiné à subir une analyse chimique des surfaces. Elle est destinée à l'analyste comme aide permettant de comprendre les conditions de manipulation spécialisées de l'échantillon nécessaires pour des analyses par des techniques telles que la spectroscopie des électrons Auger, la spectrométrie de masse des ions secondaires, et la spectroscopie de photoélectrons par rayons X.

Sommaire
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  • 1
    Domaine d'application 1
  • 2
    Références normatives 1
  • 3
    Termes et définitions 1
  • 4
    Symboles et termes abrégés 1
  • 5
    Exigences générales 1
  • 6
    Inspection visuelle de l'échantillon 2
  • 7
    Considérations sur l'échantillon 2
  • 7.1
    Historique 2
  • 7.2
    Information recherchée 2
  • 7.3
    Échantillons précédemment examinés par d'autres techniques analytiques 2
  • 8
    Sources de contamination de l'échantillon 3
  • 8.1
    Outils, gants, socles de montage, et matériaux similaires 3
  • 8.2
    Exposition à des gaz 3
  • 8.3
    Exposition au vide instrumental 3
  • 8.4
    Exposition aux électrons, aux ions, et aux rayons X 4
  • 8.5
    Contamination de la chambre d'analyse 4
  • 9
    Stockage et transfert de l'échantillon 4
  • 9.1
    Temps de stockage 4
  • 9.2
    Récipients de stockage 4
  • 9.3
    Température et humidité 5
  • 9.4
    Transfert de l'échantillon 5
  • 10
    Procédures de montage de l'échantillon 5
  • 10.1
    Procédures générales 5
  • 10.2
    Poudres et particules 6
  • 10.3
    Fils, fibres, et filaments 6
  • 10.4
    Support de montage 6
  • 10.5
    Réduction des dommages thermiques pendant l'analyse 6
  • 11
    Méthodes pour réduire la charge de l'échantillon 7
  • 11.1
    Considérations générales 7
  • 11.2
    Masque, grille, enveloppe, ou revêtement conducteurs 7
  • 11.3
    Canon de neutralisation 7
  • 11.4
    Faisceaux d'électrons et d'ions 7
  • 12
    Techniques de préparation de l'échantillon 8
  • 12.1
    Considérations générales 8
  • 12.2
    Séparation mécanique 8
  • 12.3
    Amincissement contre élimination 8
  • 12.4
    Élimination du substrat 8
  • 12.5
    Techniques de coupe 9
  • 12.6
    Croissance des surcouches 10
  • 12.7 Solvants
    10
  • 12.8
    Décapage chimique 11
  • 12.9
    Pulvérisation d'ions 11
  • 12.10
    Décapage par plasma 12
  • 12.11 Chauffage
    12
  • 12.12
    Rayonnement ultraviolet 13
  • 13
    Fracture, clivage et traçage 13
  • 13.1 Fracture
    13
  • 13.2 Clivage
    14
  • 13.3 Traçage
    14
  • 14
    Techniques spéciales de manipulation 14
  • 14.1
    Pompage préalable des échantillons contenant des gaz 14
  • 14.2
    Liquides visqueux 14
  • 14.3
    Résidu dissous 14
  • Bibliographie
    15
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