BS ISO 17109:2022

mars 2022

Norme En vigueur

Surface chemical analysis. Depth profiling. Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter dept profiling using single and multi-layer thin films

Informations générales

Collections

Normes anglaises BSI

Date de publication

mars 2022

Nombre de pages

32 p.

Référence

BS ISO 17109:2022

Codes ICS

71.040.40 Méthodes d'analyse chimique

Numéro de tirage

Parenté internationale

ISO 17109:2022

Normes remplacées (1)

BS ISO 17109:2015

août 2015

Norme Annulée

Analyse chimique des surfaces. Profilage d’épaisseur. Méthode pour la détermination de la vitesse de pulvérisation lors du profilage d’épaisseur par pulvérisation en spectroscopie de photoélectrons par rayons X, spectroscopie d’électrons Auger et spectrométrie de masse des ions secondaires à l’aide de films minces multicouches

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