FD ISO/TR 22335
FD ISO/TR 22335

FD ISO/TR 22335

juin 2008
Fascicule de documentation En vigueur

Analyse chimique des surfaces - Profilage en profondeur - Mesurage de la vitesse de pulvérisation : méthode par empreinte de grille au moyen d'un profilomètre à stylet mécanique

Le présent document décrit une méthode de détermination des vitesses de pulvérisation d'ions pour les mesurages de profil en profondeur par spectroscopie des électrons Auger (AES) et spectroscopie de photoélectrons par rayons X lorsque l'échantillon subit une pulvérisation d'ions sur une surface comprise entre 0,4 mm2 et 3,2 mm2. Il n'est applicable qu'à un matériau latéralement homogène en volume ou à un matériau monocouche pour lequel la vitesse de pulvérisation est déterminée.

Voir plus
Visualiser l'extrait
Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de parution

juillet 2008

Nombre de pages

24 p.

Référence

FD ISO/TR 22335

Codes ICS

71.040.40   Méthodes d'analyse chimique

Indice de classement

X21-063

Numéro de tirage

1 - 03/07/2008
Résumé
Analyse chimique des surfaces - Profilage en profondeur - Mesurage de la vitesse de pulvérisation : méthode par empreinte de grille au moyen d'un profilomètre à stylet mécanique

Le présent document décrit une méthode de détermination des vitesses de pulvérisation d'ions pour les mesurages de profil en profondeur par spectroscopie des électrons Auger (AES) et spectroscopie de photoélectrons par rayons X lorsque l'échantillon subit une pulvérisation d'ions sur une surface comprise entre 0,4 mm2 et 3,2 mm2. Il n'est applicable qu'à un matériau latéralement homogène en volume ou à un matériau monocouche pour lequel la vitesse de pulvérisation est déterminée.
Sommaire
Visualiser l'extrait
  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    v
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Termes et définitions
    1
  • 3 Symboles et abréviations
    2
  • 4 Principe
    2
  • 5 Mode opératoire
    2
  • 5.1 Création du motif répétitif
    2
  • 5.2 Mesurage de la profondeur du cratère de pulvérisation à l'aide d'un profilomètre à stylet mécanique
    8
  • 5.3 Estimation de la vitesse de pulvérisation
    11
  • 6 Résumé des résultats de l'essai interlaboratoires
    11
  • Annexe A (informative) Géométrie de la surface de l'échantillon et du canon à ions
    12
  • Annexe B (informative) Motifs répétitifs en fonction de la taille de l'ouverture de maille
    15
  • Bibliographie
    18
ZOOM SUR... le service Exigences
Pour respecter une norme, vous avez besoin de comprendre rapidement ses enjeux afin de déterminer son impact sur votre activité.

Le service Exigences vous aide à repérer rapidement au sein du texte normatif :
- les clauses impératives à satisfaire,
- les clauses non indispensables mais utiles à connaitre, telles que les permissions et les recommandations.

L’identification de ces types de clauses repose sur le document « Directives ISO/IEC, Partie 2 - Principes et règles de structure et de rédaction des documents ISO » ainsi que sur une liste de formes verbales constamment enrichie.

Avec Exigences, accédez rapidement à l’essentiel du texte normatif !

Avec Exigences, accédez rapidement à l'essentiel du texte normatif !
Besoin d’identifier, de veiller et de décrypter les normes ?

COBAZ est la solution simple et efficace pour répondre aux besoins normatifs liés à votre activité, en France comme à l’étranger.

Disponible sur abonnement, CObaz est LA solution modulaire à composer selon vos besoins d’aujourd’hui et de demain. Découvrez vite CObaz !

Demandez votre démo live gratuite, sans engagement

Je découvre COBAZ