FD ISO/TR 22335
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juin 2008
Fascicule de documentation En vigueur

Analyse chimique des surfaces - Profilage en profondeur - Mesurage de la vitesse de pulvérisation : méthode par empreinte de grille au moyen d'un profilomètre à stylet mécanique

Le présent document décrit une méthode de détermination des vitesses de pulvérisation d'ions pour les mesurages de profil en profondeur par spectroscopie des électrons Auger (AES) et spectroscopie de photoélectrons par rayons X lorsque l'échantillon subit une pulvérisation d'ions sur une surface comprise entre 0,4 mm2 et 3,2 mm2. Il n'est applicable qu'à un matériau latéralement homogène en volume ou à un matériau monocouche pour lequel la vitesse de pulvérisation est déterminée.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de parution

juillet 2008

Nombre de pages

24 p.

Référence

FD ISO/TR 22335

Codes ICS

71.040.40   Méthodes d'analyse chimique

Indice de classement

X21-063

Numéro de tirage

1 - 03/07/2008
Résumé
Analyse chimique des surfaces - Profilage en profondeur - Mesurage de la vitesse de pulvérisation : méthode par empreinte de grille au moyen d'un profilomètre à stylet mécanique

Le présent document décrit une méthode de détermination des vitesses de pulvérisation d'ions pour les mesurages de profil en profondeur par spectroscopie des électrons Auger (AES) et spectroscopie de photoélectrons par rayons X lorsque l'échantillon subit une pulvérisation d'ions sur une surface comprise entre 0,4 mm2 et 3,2 mm2. Il n'est applicable qu'à un matériau latéralement homogène en volume ou à un matériau monocouche pour lequel la vitesse de pulvérisation est déterminée.
Sommaire
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  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    v
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Termes et définitions
    1
  • 3 Symboles et abréviations
    2
  • 4 Principe
    2
  • 5 Mode opératoire
    2
  • 5.1 Création du motif répétitif
    2
  • 5.2 Mesurage de la profondeur du cratère de pulvérisation à l'aide d'un profilomètre à stylet mécanique
    8
  • 5.3 Estimation de la vitesse de pulvérisation
    11
  • 6 Résumé des résultats de l'essai interlaboratoires
    11
  • Annexe A (informative) Géométrie de la surface de l'échantillon et du canon à ions
    12
  • Annexe B (informative) Motifs répétitifs en fonction de la taille de l'ouverture de maille
    15
  • Bibliographie
    18
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