NF EN ISO 14644-9

Le présent document établit un mode opératoire pour l’évaluation des niveaux de propreté particulaire des surfaces solides, applicables aux salles propres et aux environnements maîtrisés apparentés. Les Annexes A à D fournissent des recommandations relatives aux essais et aux méthodes de mesurage, ainsi que des informations sur les caractéristiques des surfaces. Le présent document s’applique à toutes les surfaces solides dans les salles propres et environnements maîtrisés apparentés telles que les murs, les plafonds, les sols, les environnements de travail, les outils, les équipements et les produits. Le mode opératoire d’évaluation de la propreté des surfaces par la concentration de particules (SCP) se limite à des tailles de particules comprises entre 0,05 µm et 500 µm. Le présent document n’aborde pas les points suivants: —    les exigences pour la propreté et l’adéquation des surfaces à des processus spécifiques; —    les modes opératoires de nettoyage des surfaces; —    les caractéristiques des matériaux; —    les références aux forces de liaison ou aux processus de génération qui sont généralement fonction du temps et qui dépendent du procédé; —    le choix et l’utilisation de méthodes statistiques pour l’évaluation et les essais; —    d’autres caractéristiques des particules, telles que la charge électrostatique, les charges ioniques et l’état microbiologique.