NF ISO 14237

NF ISO 14237

septembre 2010
Norme En vigueur

Analyse chimique des surfaces - Spectrométrie de masse des ions secondaires - Dosage des atomes de bore dans le silicium à l'aide de matériaux dopés uniformément

L'ISO 14237:2010 spécifie une méthode de spectrométrie de masse des ions secondaires pour la détermination de la concentration atomique de bore dans le silicium monocristallin au moyen de matériaux dopés uniformément, étalonnés par un matériau de référence certifié à bore implanté. Cette méthode est applicable au bore dopé uniformément dans la gamme de concentrations de 1 x 1016 atomes/cm3 à 1 x 1020 atomes/cm3.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

septembre 2010

Nombre de pages

25 p.

Référence

NF ISO 14237

Codes ICS

71.040.40   Méthodes d'analyse chimique

Indice de classement

X21-070

Numéro de tirage

1 - 31/08/2010

Parenté internationale

ISO 14237:2010
Résumé
Analyse chimique des surfaces - Spectrométrie de masse des ions secondaires - Dosage des atomes de bore dans le silicium à l'aide de matériaux dopés uniformément

L'ISO 14237:2010 spécifie une méthode de spectrométrie de masse des ions secondaires pour la détermination de la concentration atomique de bore dans le silicium monocristallin au moyen de matériaux dopés uniformément, étalonnés par un matériau de référence certifié à bore implanté. Cette méthode est applicable au bore dopé uniformément dans la gamme de concentrations de 1 x 1016 atomes/cm3 à 1 x 1020 atomes/cm3.

Sommaire
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  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    v
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Références normatives
    1
  • 3 Principe
    1
  • 4 Matériaux de référence
    1
  • 4.1 Matériau de référence primaire
    1
  • 4.2 Matériaux de référence secondaires
    2
  • 5 Appareillage
    2
  • 6 Échantillon
    3
  • 7 Mode opératoire
    3
  • 7.1 Réglage du spectromètre de masse d'ions secondaires
    3
  • 7.2 Optimisation des réglages du spectromètre de masse d'ions secondaires
    3
  • 7.3 Introduction de l'échantillon
    3
  • 7.4 Ions détectés
    4
  • 7.5 Étalonnage
    4
  • 7.6 Mesurage de l'échantillon
    6
  • 8 Expression des résultats
    7
  • 8.1 Méthode de calcul
    7
  • 8.2 Fidélité
    8
  • 9 Rapport d'essai
    8
  • Annexe A (informative) Détermination de la densité de porteurs dans une tranche de silicium
    9
  • Annexe B (informative) Rapport isotopique du bore mesuré par SIMS
    11
  • Annexe C (normative) Modes opératoires pour l'évaluation du bon fonctionnement de l'appareillage
    14
  • Annexe D (informative) Rapport statistique de l'essai interlaboratoires
    16
  • Bibliographie
    19
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