NF ISO 15632
Analyse par microfaisceaux - Paramètres de performance instrumentale sélectionnés pour la spécification et le contrôle des spectromètres X à sélection d.énergie utilisés en microanalyse par sonde à électrons
La présente Norme internationale définit les paramètres les plus importants qui caractérisent un spectromètre X à sélection d'énergie consistant en un détecteur semi-conducteur, un préamplificateur et une unité de traitement des signaux en tant que parties essentielles. La présente Norme internationale est applicable uniquement aux spectromètres ayant des détecteurs semi-conducteurs fonctionnant selon le principe de l'ionisation à l'état solide. La présente Norme internationale spécifie les exigences minimales, ainsi que la façon appropriée de contrôler les paramètres de performance de l'appareil, pour de tels spectromètres reliés à un microscope électronique à balayage (MEB) ou à une microsonde électronique (EPMA). Le mode opératoire utilisé pour l'analyse effective est décrit dans l'ISO 22309[2] et dans l'ASTM E1508[3] et ne relève pas du domaine d'application de la présente Norme internationale.
La présente Norme internationale définit les paramètres les plus importants qui caractérisent un spectromètre X à sélection d'énergie consistant en un détecteur semi-conducteur, un préamplificateur et une unité de traitement des signaux en tant que parties essentielles. La présente Norme internationale est applicable uniquement aux spectromètres ayant des détecteurs semi-conducteurs fonctionnant selon le principe de l'ionisation à l'état solide. La présente Norme internationale spécifie les exigences minimales, ainsi que la façon appropriée de contrôler les paramètres de performance de l'appareil, pour de tels spectromètres reliés à un microscope électronique à balayage (MEB) ou à une microsonde électronique (EPMA). Le mode opératoire utilisé pour l'analyse effective est décrit dans l'ISO 22309[2] et dans l'ASTM E1508[3] et ne relève pas du domaine d'application de la présente Norme internationale.
<p>L'ISO 15632:2002 définit les paramètres les plus importants qui caractérisent un spectromètre de rayons X à sélection d'énergie (EDS) consistant en un détecteur semi-conducteur, un préamplificateur et une unité de traitement des signaux en tant que parties essentielles. Elle s'applique uniquement aux spectromètres ayant des détecteurs semi-conducteurs fonctionnant selon le principe de l'ionisation à l'état solide. Elle définit les exigences minimales pour de tels spectromètres reliés à un microanalyseur à sonde électronique (EPMA) ou à un microscope électronique à balayage (MEB). La réalisation de l'analyse se situe en dehors de la portée de l'ISO 15632:2002.</p>
- Avant-proposiv
- Introductionv
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1 Domaine d'application1
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2 Référence normatives1
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3 Termes et définitions1
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4 Exigences3
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4.1 Description générale3
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4.2 Résolution en énergie3
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4.3 Temps mort4
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4.4 Rapport pic sur fond4
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4.5 Dépendance du rendement de détection instrumental en fonction de l'énergie4
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5 Contrôle des autres paramètres de performance4
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5.1 Généralités4
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5.2 Stabilité de l'échelle d'énergie et de la résolution5
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5.3 Effets d'empilement5
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5.4 Contrôle périodique de la performance du spectromètre5
- Annexe A (normative) Mesure des largeurs de raie (FWHM) pour déterminer la résolution en énergie du spectromètre6
- Annexe B (normative) Détermination du rapport L/K comme mesure représentant la dépendance énergétique du rendement de la détection instrumentale10
- Bibliographie12
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