NF ISO 15632
Analyse par microfaisceaux - Spécifications instrumentales pour spectromètres de rayons X à sélection d'énergie avec détecteurs à semi-conducteurs
L'ISO 15632:2002 définit les paramètres les plus importants qui caractérisent un spectromètre de rayons X à sélection d'énergie (EDS) consistant en un détecteur semi-conducteur, un préamplificateur et une unité de traitement des signaux en tant que parties essentielles. Elle s'applique uniquement aux spectromètres ayant des détecteurs semi-conducteurs fonctionnant selon le principe de l'ionisation à l'état solide. Elle définit les exigences minimales pour de tels spectromètres reliés à un microanalyseur à sonde électronique (EPMA) ou à un microscope électronique à balayage (MEB). La réalisation de l'analyse se situe en dehors de la portée de l'ISO 15632:2002.
L'ISO 15632:2002 définit les paramètres les plus importants qui caractérisent un spectromètre de rayons X à sélection d'énergie (EDS) consistant en un détecteur semi-conducteur, un préamplificateur et une unité de traitement des signaux en tant que parties essentielles. Elle s'applique uniquement aux spectromètres ayant des détecteurs semi-conducteurs fonctionnant selon le principe de l'ionisation à l'état solide. Elle définit les exigences minimales pour de tels spectromètres reliés à un microanalyseur à sonde électronique (EPMA) ou à un microscope électronique à balayage (MEB). La réalisation de l'analyse se situe en dehors de la portée de l'ISO 15632:2002.
<p>La présente Norme internationale définit les paramètres les plus importants qui caractérisent un spectromètre X à sélection d'énergie consistant en un détecteur semi-conducteur, un préamplificateur et une unité de traitement des signaux en tant que parties essentielles. La présente Norme internationale est applicable uniquement aux spectromètres ayant des détecteurs semi-conducteurs fonctionnant selon le principe de l'ionisation à l'état solide. La présente Norme internationale spécifie les exigences minimales, ainsi que la façon appropriée de contrôler les paramètres de performance de l'appareil, pour de tels spectromètres reliés à un microscope électronique à balayage (MEB) ou à une microsonde électronique (EPMA). Le mode opératoire utilisé pour l'analyse effective est décrit dans l'ISO 22309[2] et dans l'ASTM E1508[3] et ne relève pas du domaine d'application de la présente Norme internationale.</p>
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