Le présent document définit une liste de termes liés aux procédés de nanofabrication dans le domaine des nanotechnologies. Dans le présent document, tous les termes liés aux procédés se rapportent à la nanofabrication ; cependant, bon nombre des procédés mentionnés ne se rapportent pas exclusivement à l'échelle nanométrique. Lorsque des termes sont non exclusifs à la nanofabrication, cela est indiqué dans leur définition. Selon que les conditions sont maîtrisables ou non, de tels procédés peuvent donner lieu à des matériaux à l'échelle nanométrique ou à de plus grandes échelles.
<p>L'ISO/TS 80004-8:2013 donne les termes et définitions concernant les processus de nanofabrication dans le domaine des nanotechnologies. Elle ne constitue qu'une partie d'une documentation de terminologie et de définitions, en plusieurs parties, couvrant les différents aspects des nanotechnologies.</p>
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