ISO/TS 80004-8:2020

ISO/TS 80004-8:2020

novembre 2020
Spécification technique En vigueur

Nanotechnologies - Vocabulaire - Partie 8: Processus de nanofabrication

Le présent document définit une liste de termes liés aux procédés de nanofabrication dans le domaine des nanotechnologies. Dans le présent document, tous les termes liés aux procédés se rapportent à la nanofabrication; cependant, bon nombre des procédés mentionnés ne se rapportent pas exclusivement à l'échelle nanométrique. Lorsque des termes sont non exclusifs à la nanofabrication, cela est indiqué dans leur définition. Selon que les conditions sont maîtrisables ou non, de tels procédés peuvent donner lieu à des matériaux à l'échelle nanométrique ou à de plus grandes échelles. Il existe de nombreux autres termes qui désignent des outils, des composants, des matériaux, des méthodes de contrôle de systèmes ou des méthodes métrologiques associées à la nanofabrication, mais qui ne relèvent pas du domaine d'application du présent document. Des termes et définitions d'autres parties de la série de normes ISO/TS 80004 sont repris dans l'Article 3 à des fins de contexte et d'une meilleure compréhension.

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Informations générales

Collections

Normes internationales ISO

Date de publication

novembre 2020

Nombre de pages

31 p.

Référence

ISO/TS 80004-8:2020

Codes ICS

07.120   Nanotechnologies
01.040.07   Sciences naturelles et sciences appliquées (Vocabulaires)

Numéro de tirage

1
Résumé
Nanotechnologies - Vocabulaire - Partie 8: Processus de nanofabrication

Le présent document définit une liste de termes liés aux procédés de nanofabrication dans le domaine des nanotechnologies.

Dans le présent document, tous les termes liés aux procédés se rapportent à la nanofabrication; cependant, bon nombre des procédés mentionnés ne se rapportent pas exclusivement à l'échelle nanométrique. Lorsque des termes sont non exclusifs à la nanofabrication, cela est indiqué dans leur définition. Selon que les conditions sont maîtrisables ou non, de tels procédés peuvent donner lieu à des matériaux à l'échelle nanométrique ou à de plus grandes échelles.

Il existe de nombreux autres termes qui désignent des outils, des composants, des matériaux, des méthodes de contrôle de systèmes ou des méthodes métrologiques associées à la nanofabrication, mais qui ne relèvent pas du domaine d'application du présent document.

Des termes et définitions d'autres parties de la série de normes ISO/TS 80004 sont repris dans l'Article 3 à des fins de contexte et d'une meilleure compréhension.

Normes remplacées (1)
ISO/TS 80004-8:2013
décembre 2013
Spécification technique Annulée
Nanotechnologies - Vocabulaire - Partie 8 : processus de nanofabrication

<p>L'ISO/TS 80004-8:2013 donne les termes et définitions concernant les processus de nanofabrication dans le domaine des nanotechnologies. Elle ne constitue qu'une partie d'une documentation de terminologie et de définitions, en plusieurs parties, couvrant les différents aspects des nanotechnologies.</p>

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