NF EN 62047-6

NF EN 62047-6

September 2010
Standard Current

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6 : axial fatigue testing methods of thin film materials

Le présent document spécifie la méthode relative à l'essai de fatigue pour une force axiale de traction-traction des matériaux en couche mince de longueur et largeur inférieures à 1 mm et d'une épaisseur comprise entre 0,1 m et 10 m dans le cadre d'une gamme de force constante ou d'une gamme de déplacement constant.

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Main informations

Collections

National standards and national normative documents

Publication date

September 2010

Number of pages

35 p.

Reference

NF EN 62047-6

ICS Codes

29.045   Semiconducting materials
31.080.01   Semiconductor devices in general

Classification index

C96-050-6

Print number

1

International kinship

European kinship

EN 62047-6:2010
Sumary
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6 : axial fatigue testing methods of thin film materials

Le présent document spécifie la méthode relative à l'essai de fatigue pour une force axiale de traction-traction des matériaux en couche mince de longueur et largeur inférieures à 1 mm et d'une épaisseur comprise entre 0,1 m et 10 m dans le cadre d'une gamme de force constante ou d'une gamme de déplacement constant.
Table of contents
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  • Avant-propos
    4
  • 1 Domaine d'application
    6
  • 2 Références normatives
    6
  • 3 Termes et définitions
    6
  • 4 Éprouvette d'essai
    8
  • 5 Méthode d'essai et appareillage d'essai
    8
  • 6 Endurances (fin de l'essai)
    10
  • 7 Rapport d'essai
    10
  • Annexe A (informative) Contexte technique de la présente norme
    11
  • Annexe B (informative) Eprouvette d'essai
    12
  • Annexe C (informative) Mesure du déplacement
    13
  • Annexe D (informative) Environnement d'essai
    14
  • Annexe E (informative) Nombre d'éprouvettes d'essai
    15
  • Bibliographie
    16
  • Annexe ZA (informative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes
    17
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