NF ISO 18116

NF ISO 18116

August 2006
Standard Current

Surface chemical analysis - Guidelines for preparation and mounting of specimens for analysis

ISO 18116:2005 gives guidance on methods of mounting and surface treatment for a specimen about to undergo surface chemical analysis. It is intended for the analyst as an aid in understanding the specialized specimen-handling conditions required for analyses by techniques such as Auger electron spectroscopy, secondary-ion mass spectrometry, and X-ray photoelectron spectroscopy.

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Main informations

Collections

National standards and national normative documents

Publication date

August 2006

Number of pages

23 p.

Reference

NF ISO 18116

ICS Codes

71.040.40   Chemical analysis

Classification index

X21-056

Print number

1 - 10/07/2006

International kinship

Sumary
Surface chemical analysis - Guidelines for preparation and mounting of specimens for analysis

ISO 18116:2005 gives guidance on methods of mounting and surface treatment for a specimen about to undergo surface chemical analysis. It is intended for the analyst as an aid in understanding the specialized specimen-handling conditions required for analyses by techniques such as Auger electron spectroscopy, secondary-ion mass spectrometry, and X-ray photoelectron spectroscopy.

Table of contents
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  • 1
    Domaine d'application 1
  • 2
    Références normatives 1
  • 3
    Termes et définitions 1
  • 4
    Symboles et termes abrégés 1
  • 5
    Exigences générales 1
  • 6
    Inspection visuelle de l'échantillon 2
  • 7
    Considérations sur l'échantillon 2
  • 7.1
    Historique 2
  • 7.2
    Information recherchée 2
  • 7.3
    Échantillons précédemment examinés par d'autres techniques analytiques 2
  • 8
    Sources de contamination de l'échantillon 3
  • 8.1
    Outils, gants, socles de montage, et matériaux similaires 3
  • 8.2
    Exposition à des gaz 3
  • 8.3
    Exposition au vide instrumental 3
  • 8.4
    Exposition aux électrons, aux ions, et aux rayons X 4
  • 8.5
    Contamination de la chambre d'analyse 4
  • 9
    Stockage et transfert de l'échantillon 4
  • 9.1
    Temps de stockage 4
  • 9.2
    Récipients de stockage 4
  • 9.3
    Température et humidité 5
  • 9.4
    Transfert de l'échantillon 5
  • 10
    Procédures de montage de l'échantillon 5
  • 10.1
    Procédures générales 5
  • 10.2
    Poudres et particules 6
  • 10.3
    Fils, fibres, et filaments 6
  • 10.4
    Support de montage 6
  • 10.5
    Réduction des dommages thermiques pendant l'analyse 6
  • 11
    Méthodes pour réduire la charge de l'échantillon 7
  • 11.1
    Considérations générales 7
  • 11.2
    Masque, grille, enveloppe, ou revêtement conducteurs 7
  • 11.3
    Canon de neutralisation 7
  • 11.4
    Faisceaux d'électrons et d'ions 7
  • 12
    Techniques de préparation de l'échantillon 8
  • 12.1
    Considérations générales 8
  • 12.2
    Séparation mécanique 8
  • 12.3
    Amincissement contre élimination 8
  • 12.4
    Élimination du substrat 8
  • 12.5
    Techniques de coupe 9
  • 12.6
    Croissance des surcouches 10
  • 12.7 Solvants
    10
  • 12.8
    Décapage chimique 11
  • 12.9
    Pulvérisation d'ions 11
  • 12.10
    Décapage par plasma 12
  • 12.11 Chauffage
    12
  • 12.12
    Rayonnement ultraviolet 13
  • 13
    Fracture, clivage et traçage 13
  • 13.1 Fracture
    13
  • 13.2 Clivage
    14
  • 13.3 Traçage
    14
  • 14
    Techniques spéciales de manipulation 14
  • 14.1
    Pompage préalable des échantillons contenant des gaz 14
  • 14.2
    Liquides visqueux 14
  • 14.3
    Résidu dissous 14
  • Bibliographie
    15
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