NF ISO 18116
Surface chemical analysis - Guidelines for preparation and mounting of specimens for analysis
ISO 18116:2005 gives guidance on methods of mounting and surface treatment for a specimen about to undergo surface chemical analysis. It is intended for the analyst as an aid in understanding the specialized specimen-handling conditions required for analyses by techniques such as Auger electron spectroscopy, secondary-ion mass spectrometry, and X-ray photoelectron spectroscopy.
ISO 18116:2005 gives guidance on methods of mounting and surface treatment for a specimen about to undergo surface chemical analysis. It is intended for the analyst as an aid in understanding the specialized specimen-handling conditions required for analyses by techniques such as Auger electron spectroscopy, secondary-ion mass spectrometry, and X-ray photoelectron spectroscopy.
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1Domaine d'application 1
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2Références normatives 1
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3Termes et définitions 1
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4Symboles et termes abrégés 1
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5Exigences générales 1
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6Inspection visuelle de l'échantillon 2
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7Considérations sur l'échantillon 2
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7.1Historique 2
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7.2Information recherchée 2
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7.3Échantillons précédemment examinés par d'autres techniques analytiques 2
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8Sources de contamination de l'échantillon 3
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8.1Outils, gants, socles de montage, et matériaux similaires 3
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8.2Exposition à des gaz 3
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8.3Exposition au vide instrumental 3
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8.4Exposition aux électrons, aux ions, et aux rayons X 4
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8.5Contamination de la chambre d'analyse 4
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9Stockage et transfert de l'échantillon 4
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9.1Temps de stockage 4
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9.2Récipients de stockage 4
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9.3Température et humidité 5
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9.4Transfert de l'échantillon 5
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10Procédures de montage de l'échantillon 5
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10.1Procédures générales 5
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10.2Poudres et particules 6
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10.3Fils, fibres, et filaments 6
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10.4Support de montage 6
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10.5Réduction des dommages thermiques pendant l'analyse 6
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11Méthodes pour réduire la charge de l'échantillon 7
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11.1Considérations générales 7
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11.2Masque, grille, enveloppe, ou revêtement conducteurs 7
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11.3Canon de neutralisation 7
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11.4Faisceaux d'électrons et d'ions 7
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12Techniques de préparation de l'échantillon 8
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12.1Considérations générales 8
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12.2Séparation mécanique 8
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12.3Amincissement contre élimination 8
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12.4Élimination du substrat 8
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12.5Techniques de coupe 9
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12.6Croissance des surcouches 10
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12.7 Solvants10
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12.8Décapage chimique 11
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12.9Pulvérisation d'ions 11
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12.10Décapage par plasma 12
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12.11 Chauffage12
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12.12Rayonnement ultraviolet 13
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13Fracture, clivage et traçage 13
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13.1 Fracture13
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13.2 Clivage14
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13.3 Traçage14
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14Techniques spéciales de manipulation 14
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14.1Pompage préalable des échantillons contenant des gaz 14
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14.2Liquides visqueux 14
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14.3Résidu dissous 14
- Bibliographie15
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