IEC 62047-16:2015
Collections
Normes internationales IEC
Date de publication
mars 2015
Nombre de pages
21 p.
Référence
IEC 62047-16:2015
L'IEC 62047-16:2015 définit les méthodes d'essai permettant de mesurer les contraintes résiduelles des films dont l'épaisseur se situe dans la plage de 0,01 μ à 10 μ dans des structures fabriquées de microsystèmes électromécaniques (MEMS) au moyen des méthodes de la courbure de la plaquette ou de déviation de poutre en porte-à-faux.
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