NF EN 62276

NF EN 62276

mars 2013
Norme Annulée

Tranches monocristallines pour applications utilisant des dispositifs à ondes acoustiques de surface (OAS) - Spécifications et méthodes de mesure

Le présent document s'applique à la fabrication de tranches monocristallines de quartz synthétique, de niobate de lithium (LN), de tantalate de lithium (LT), de tétraborate de lithium (LBO) et de silicate de gallium et de lanthane (LGS) destinées à être utilisées comme substrats dans la fabrication de résonateurs et de filtres à ondes acoustiques de surface (OAS).

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

mars 2013

Nombre de pages

45 p.

Référence

NF EN 62276

Codes ICS

31.140   Dispositifs piézo-électriques

Indice de classement

C93-616

Numéro de tirage

1 - mars 2013

Parenté internationale

IEC 62276:2012

Parenté européenne

EN 62276:2013
Résumé
Tranches monocristallines pour applications utilisant des dispositifs à ondes acoustiques de surface (OAS) - Spécifications et méthodes de mesure

Le présent document s'applique à la fabrication de tranches monocristallines de quartz synthétique, de niobate de lithium (LN), de tantalate de lithium (LT), de tétraborate de lithium (LBO) et de silicate de gallium et de lanthane (LGS) destinées à être utilisées comme substrats dans la fabrication de résonateurs et de filtres à ondes acoustiques de surface (OAS).
Normes remplacées (1)
NF EN 62276
février 2006
Norme Annulée
Tranches monocristallines pour applications utilisant des dispositifs à ondes acoustiques de surface - Spécifications et méthodes de mesure

Le présent document concerne la fabrication des tranches monocristallines de quartz synthétiques, lithium niobate (LN) lithium tantale (LT) tétraborate de lithium (LBO) et silicate de gallium de lautane destinées à être utilisées comme substrat dans la fabrication des filtres et résonateurs à ondes acoustiques de surface.

Norme remplacée par (1)
NF EN 62276
juin 2018
Norme En vigueur
Tranches monocristallines pour applications utilisant des dispositifs à ondes acoustiques de surface (OAS) - Spécifications et méthodes de mesure

Sommaire
  • AVANT-PROPOS
    2
  • INTRODUCTION
    5
  • 1 Domaine d'application
    6
  • 2 Références normatives
    6
  • 3 Termes et définitions
    6
  • 3.1 Monocristaux pour tranche OAS
    6
  • 3.2 Termes et définitions liés aux cristaux de LN et LT
    7
  • 3.3 Termes et définitions liés à tous les cristaux
    7
  • 3.4 Planéité
    8
  • 3.5 Définitions des défauts d'aspect
    11
  • 3.6 Autres termes et définitions
    12
  • 4 Exigences
    13
  • 4.1 Spécifications des matériaux
    13
  • 4.2 Spécifications des tranches
    13
  • 5 Plan d'échantillonnage
    17
  • 5.1 Échantillonnage
    17
  • 5.2 Fréquence d'échantillonnage
    17
  • 5.3 Inspection de toute la population
    17
  • 6 Méthodes d'essai
    18
  • 6.1 Diamètre
    18
  • 6.2 Épaisseur
    18
  • 6.3 Dimension de l'OF
    18
  • 6.4 Orientation de l'OF
    18
  • 6.5 TV5
    18
  • 6.6 Gauchissement
    18
  • 6.7 TTV
    18
  • 6.8 Défauts de la surface avant
    18
  • 6.9 Inclusions
    18
  • 6.10 Rugosité de la surface arrière
    18
  • 6.11 Orientation
    19
  • 6.12 Température de Curie
    19
  • 6.13 Constante du réseau cristallin
    19
  • 6.14 Résistivité volumique
    19
  • 7 Identification, étiquetage, emballage, conditions de livraison
    19
  • 7.1 Emballage
    19
  • 7.2 Étiquetage et identification
    19
  • 7.3 Conditions de livraison
    19
  • 8 Mesure de la température de Curie
    19
  • 8.1 Généralités
    19
  • 8.2 Méthode DTA
    20
  • 8.3 Méthode de la constante diélectrique
    20
  • 9 Mesure de la constante du réseau cristallin (méthode Bond)
    21
  • 10 Mesure de l'angle de face aux rayons X
    22
  • 10.1 Principe de mesure
    22
  • 10.2 Méthode de mesure
    23
  • 10.3 Mesure de l'orientation de la surface d'une tranche
    24
  • 10.4 Mesure de l'orientation de l'OF
    24
  • 10.5 Plans de référence et orientations de tranches typiques
    24
  • 11 Mesure de la résistivité volumique
    24
  • 11.1 Mesure de la résistance d'une tranche
    24
  • 11.2 Électrode
    25
  • 11.3 Résistivité volumique
    26
  • 12 Examens visuels
    26
  • 12.1 Méthode d'inspection de la surface avant
    26
  • Annexe A (normative) Expression utilisant la description de l'angle d'Euler pour les monocristaux piézoélectriques
    28
  • Annexe B (informative) Processus de fabrication pour tranches OAS
    32
  • Annexe ZA (normative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes
    39
  • Bibliographie
    40
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