NF EN 60749-8
Dispositifs à semiconducteurs - Méthodes d'essais mécaniques et climatiques - Partie 8 : étanchéité
Le présent document est applicable aux dispositifs à semiconducteurs (dispositifs discrets et circuits intégrés). L'objet de cette méthode d'essais est de déterminer le taux de fuite des dispositifs à semiconducteurs.
Le présent document est applicable aux dispositifs à semiconducteurs (dispositifs discrets et circuits intégrés). L'objet de cette méthode d'essais est de déterminer le taux de fuite des dispositifs à semiconducteurs.
- AVANT-PROPOS2
- INTRODUCTION4
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1 Domaine d'application et objet5
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2 Références normatives5
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3 Définitions générales5
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3.1 Unités de pression5
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3.2 Taux de fuite normalisé5
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3.3 Taux de fuite mesuré5
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3.4 Taux de fuite normalisé équivalent6
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4 Essai de pression à la bombe6
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5 Détection des microfuites: méthode au krypton radioactif6
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5.1 Objet6
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5.2 Description générale6
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5.3 Précautions concernant le personnel8
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5.4 Procédure d'essai8
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5.5 Conditions spécifiées9
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5.6 Détection de fuites franches9
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6 Détection des microfuites: méthode d'essai au gaz traceur (hélium) au moyen d'un spectrographe de masse9
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6.1 Généralités9
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6.2 Méthode 1: composants non remplis d'hélium pendant la fabrication - Méthode fixe9
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6.3 Méthode 2: composants non remplis d'hélium pendant la fabrication - Méthode flexible10
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6.4 Méthode 3: composants remplis d'hélium pendant la fabrication11
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6.5 Détection de fuites franches11
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7 Fuites franches, méthode de détection électronique des vapeurs de perfluorocarbone11
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7.1 Objet11
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7.2 Description générale11
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7.3 Matériel d'essai11
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7.4 Méthode d'essai12
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7.5 Critère de rejet12
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8 Fuites franches - Méthode de détection de bulles de perfluorocarbone13
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9 Condition d'essai E, détection des fuites franches par augmentation de poids13
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9.1 Objet13
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9.2 Matériel13
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9.3 Procédure14
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9.4 Critères de défaillance14
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10 Détection des fuites franches par pénétration de colorant15
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11 Vérification de l'essai de fuites franches15
- Annexe ZA (normative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes16
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