NF EN 62047-11
NF EN 62047-11

NF EN 62047-11

mars 2014
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11 : méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques

Le présent document définit la méthode d'essai pour mesurer les coefficients de dilatation thermique linéaire (CLTE) de matériaux de systèmes micro-électromécaniques (MEMS) solides autonomes minces (métalliques, céramiques, polymères, etc.) dont la longueur est comprise entre 0,1 mm et 1 mm, la largeur entre 10 micromètres et 1 mm et l'épaisseur entre 0,1 micromètre et 1 mm, qui sont les matériaux structurels principaux utilisés pour les MEMS, les micromachines et autres. Cette méthode d'essai peut s'appliquer à la mesure des CLTE dans la gamme de températures allant de la température ambiante jusqu'à 30 % de la température de fusion du matériau.

Visualiser l'extrait
Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de parution

avril 2014

Nombre de pages

23 p.

Référence

NF EN 62047-11

Codes ICS

29.045   Matériaux semi-conducteurs
31.080.99   Autres dispositifs à semi-conducteurs

Indice de classement

C96-050-11

Numéro de tirage

1

Parenté internationale

Parenté européenne

EN 62047-11:2013
Résumé
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11 : méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques

Le présent document définit la méthode d'essai pour mesurer les coefficients de dilatation thermique linéaire (CLTE) de matériaux de systèmes micro-électromécaniques (MEMS) solides autonomes minces (métalliques, céramiques, polymères, etc.) dont la longueur est comprise entre 0,1 mm et 1 mm, la largeur entre 10 micromètres et 1 mm et l'épaisseur entre 0,1 micromètre et 1 mm, qui sont les matériaux structurels principaux utilisés pour les MEMS, les micromachines et autres. Cette méthode d'essai peut s'appliquer à la mesure des CLTE dans la gamme de températures allant de la température ambiante jusqu'à 30 % de la température de fusion du matériau.
Sommaire
Visualiser l'extrait
  • SOMMAIRE
    3
  • 1
    Domaine d'application 4
  • 2
    Références normatives 4
  • 3
    Symboles et désignations 4
  • 4
    Éprouvette d'essai 5
  • 5
    Méthode d'essai et appareillage d'essai 6
  • 6
    Rapport d'essai 10
  • Annexe A (informative) Fabrication de l'éprouvette d'essai
    11
  • Annexe B (informative) Exemple de manipulation d'une éprouvette d'essai
    12
  • Annexe C (informative) Processus de libération de l'éprouvette d'essai
    13
  • Annexe D (informative) Montage d'essai hors plan et exemple d'éprouvette d'essai
    14
  • Annexe E (informative) Exemple d'analyse de données de la méthode d'essai dans le plan
    15
  • Annexe F (informative) Exemple d'analyse de données de la méthode d'essai hors plan
    16
  • Annexe ZA (normative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes
    18
  • Bibliographie
    19
ZOOM SUR... le service Exigences
Pour respecter une norme, vous avez besoin de comprendre rapidement ses enjeux afin de déterminer son impact sur votre activité.

Le service Exigences vous aide à repérer rapidement au sein du texte normatif :
- les clauses impératives à satisfaire,
- les clauses non indispensables mais utiles à connaitre, telles que les permissions et les recommandations.

L’identification de ces types de clauses repose sur le document « Directives ISO/IEC, Partie 2 - Principes et règles de structure et de rédaction des documents ISO » ainsi que sur une liste de formes verbales constamment enrichie.

Avec Exigences, accédez rapidement à l’essentiel du texte normatif !

Avec Exigences, accédez rapidement à l'essentiel du texte normatif !
Besoin d’identifier, de veiller et de décrypter les normes ?

COBAZ est la solution simple et efficace pour répondre aux besoins normatifs liés à votre activité, en France comme à l’étranger.

Disponible sur abonnement, CObaz est LA solution modulaire à composer selon vos besoins d’aujourd’hui et de demain. Découvrez vite CObaz !

Demandez votre démo live gratuite, sans engagement

Je découvre COBAZ