NF EN 62047-16
NF EN 62047-16

NF EN 62047-16

novembre 2015
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 16 : méthodes d'essai pour déterminer les contraintes résiduelles des films de MEMS - Méthodes de la courbure de la plaquette et de déviation de poutre en porte-à-faux

Le présent document définit les méthodes d'essai permettant de mesurer les contraintes résiduelles des films dont l'épaisseur se situe dans la plage de 0,01 micron m à 10 micron m dans des structures fabriquées de microsystèmes électromécaniques (MEMS) au moyen des méthodes de la courbure de la plaquette ou de déviation de poutre en porte-à-faux.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de parution

octobre 2015

Nombre de pages

15 p.

Référence

NF EN 62047-16

Codes ICS

31.080.99   Autres dispositifs à semi-conducteurs

Indice de classement

C96-050-16

Numéro de tirage

1
Résumé
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 16 : méthodes d'essai pour déterminer les contraintes résiduelles des films de MEMS - Méthodes de la courbure de la plaquette et de déviation de poutre en porte-à-faux

Le présent document définit les méthodes d'essai permettant de mesurer les contraintes résiduelles des films dont l'épaisseur se situe dans la plage de 0,01 micron m à 10 micron m dans des structures fabriquées de microsystèmes électromécaniques (MEMS) au moyen des méthodes de la courbure de la plaquette ou de déviation de poutre en porte-à-faux.
Sommaire
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  • 1 Domaine d'application
  • 2 Références normatives
  • 3 Termes et définitions
  • 4 Méthodes d'essa
    i
  • Annexe ZA(normative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes
  • Bibliographie
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