NF EN 62047-2

novembre 2006

Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 2 : méthodes d'essais de traction des matériaux en couche mince

Le présent document spécifie la méthode pour les essais de traction des matériaux en couche mince d'une longueur et d'une largeur inférieure à 1 mm et d'une épaisseur inférieure à 10 micro m, qui sont des matériaux structurels principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues.

Visualiser l'extrait Nouveau : service UPSELL

Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

novembre 2006

Nombre de pages

15 p.

Référence

NF EN 62047-2

Codes ICS

29.045 Matériaux semi-conducteurs

31.080.01 Dispositifs à semi-conducteurs en général

Indice de classement

C96-050-2

Numéro de tirage

1 - novembre 2006

Parenté internationale

IEC 62047-2:2006

Parenté européenne

EN 62047-2:2006

Résumé

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 2 : méthodes d'essais de traction des matériaux en couche mince

Le présent document spécifie la méthode pour les essais de traction des matériaux en couche mince d'une longueur et d'une largeur inférieure à 1 mm et d'une épaisseur inférieure à 10 micro m, qui sont des matériaux structurels principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues.

Sommaire

AVANT-PROPOS
2
1 Domaine d'application
4
2 Références normatives
4
3 Symboles et désignations
4
4 Méthode d'essai et appareillage d'essai
5
4.1 Méthode de fixation
5
4.2 Méthode de charge
5
4.3 Vitesse d'essai
5
4.4 Mesure de la force
5
4.5 Mesure de l'allongement
5
4.6 Courbe contrainte-déformation
6
4.7 Contrôle de l'environnement
6
5 Éprouvette d'essai
6
5.1 Généralités
6
5.2 Forme plane de l'éprouvette d'essai
6
5.3 Epaisseur de l'éprouvette d'essai
7
5.4 Marque repère
7
6 Rapport d'essai
7
Annexe A (informative)
Méthode de serrage de l'éprouvette d'essai 8
Annexe B (normative) Conditions d'essai
10
Annexe C (informative) Éprouvette d'essai
11
Annexe ZA (normative) Références normatives à d'autres publications internationales
avec les publications européennes correspondantes
13

ZOOM SUR... le service Exigences

Pour respecter une norme, vous avez besoin de comprendre rapidement ses enjeux afin de déterminer son impact sur votre activité.

Le service Exigences vous aide à repérer rapidement au sein du texte normatif :

les clauses impératives à satisfaire,
les clauses non indispensables mais utiles à connaitre, telles que les permissions et les recommandations.

L'identification de ces types de clauses repose sur le document « Directives ISO/IEC, Partie 2 - Principes et règles de structure et de rédaction des documents ISO » ainsi que sur une liste de formes verbales constamment enrichie.

Avec Exigences, accédez rapidement à l'essentiel du texte normatif !

Nouveau : service UPSELL

Le service UPSELL vous permet de faire évoluer l'une de vos normes en toute simplicité.
D'un simple clic ajoutez une nouvelle langue, le service Exigences ou Redline+ et ajouter un ou plusieurs utilisateur(s) supplémentaire(s).
Que vous soyez en cours d'acquisition d'une norme ou qu'elle soit déjà disponible dans votre espace personnel, le service UPSELL est disponible à chaque étape pour vous aider à sa compréhension et dans la mise en place au sein de votre structure.

Besoin d’identifier, de veiller et de décrypter les normes ?

COBAZ est la solution simple et efficace pour répondre aux besoins normatifs liés à votre activité, en France comme à l’étranger.

Disponible sur abonnement, CObaz est LA solution modulaire à composer selon vos besoins d’aujourd’hui et de demain. Découvrez vite CObaz !

Demandez votre démo live gratuite, sans engagement

Je découvre COBAZ