NF EN 62047-21

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21 : méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince

Le présent document spécifie la détermination du coefficient de Poisson à partir des résultats obtenus par l'application d'essais de charges uniaxiales et biaxiales aux matériaux pour systèmes microélectromécaniques (MEMS, Micro-Electrical-Mechanical Systems) à couche mince dont les longueurs et les largeurs sont inférieures à 10 mm et les épaisseurs sont inférieures à 10 mu m.

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