NF EN ISO 14644-14

Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 14 : évaluation de l'aptitude à l'emploi des équipments par la détermination de la concentration de particules en suspension dans l'air

Le présent document définit une méthodologie pour évaluer l'aptitude de l'équipement (par exemple, machines, équipements de mesure, équipements de procédé, composants, outils) à être employé dans les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés, pour ce qui concerne la propreté particulaire de l'air telle que spécifiée dans la NF EN ISO 14644-1. La taille des particules varie de 0,1 ?m à 5 ?m ou plus (indiquée dans la NF EN ISO 14644-1).

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