NF EN ISO 25178-603
NF EN ISO 25178-603

NF EN ISO 25178-603

décembre 2013
Norme En vigueur

Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : surfacique - Partie 603 : caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques à glissement de franges)

Le présent document décrit les caractéristiques métrologiques des microscopes de mesure de profil et d'état de surface surfacique par interférométrie à glissement de franges, conçus pour la mesure des cartes topographiques des surfaces. Il décrit les grandeurs d'influence dont les écarts affectent les caractéristiques métrologiques. Il fournit le principe de fonctionnement, les composants, les erreurs et correction des microscopes interférométriques à glissement de franges. Le présent document est une norme GPS générale, dont la situation dans la matrice GPS est indiquée en Annexe D.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de parution

novembre 2013

Nombre de pages

38 p.

Référence

NF EN ISO 25178-603

Codes ICS

17.040.20   Etat de surfaces
17.040.40   Spécification géométrique des produits (GPS)

Indice de classement

E05-031-603

Numéro de tirage

1 - 22/11/2013

Parenté internationale

ISO 25178-603:2013

Parenté européenne

EN ISO 25178-603:2013
Résumé
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : surfacique - Partie 603 : caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques à glissement de franges)

Le présent document décrit les caractéristiques métrologiques des microscopes de mesure de profil et d'état de surface surfacique par interférométrie à glissement de franges, conçus pour la mesure des cartes topographiques des surfaces. Il décrit les grandeurs d'influence dont les écarts affectent les caractéristiques métrologiques. Il fournit le principe de fonctionnement, les composants, les erreurs et correction des microscopes interférométriques à glissement de franges. Le présent document est une norme GPS générale, dont la situation dans la matrice GPS est indiquée en Annexe D.
Sommaire
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  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    vi
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Termes et définitions
    1
  • 2.1 Termes et définitions liés à toutes les méthodes de mesure de l'état de surface surfacique
    1
  • 2.2 Termes et définitions liés aux systèmes de balayage x et y
    8
  • 2.3 Termes et définitions liés aux systèmes optiques
    10
  • 2.4 Termes et définitions liés aux propriétés optiques de la pièce
    12
  • 2.5 Termes et définitions spécifiques à la microscopie interférométrique à glissement de franges
    12
  • 3 Descriptions des grandeurs d'influence
    13
  • 3.1 Généralités
    13
  • 3.2 Grandeurs d'influence
    14
  • Annexe A (informative) Composants d'un microscope interférométrique à glissement de franges (PSI)
    16
  • Annexe B (informative) Principe de fonctionnement d'un microscope interférométrique à glissement de franges (PSI)
    17
  • Annexe C (informative) Erreurs et corrections des microscopes interférométriques à glissement de franges (PSI)
    22
  • Annexe D (informative) Relation avec la matrice GPS
    25
  • Bibliographie
    27
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