NF EN ISO 25178-604

NF EN ISO 25178-604

septembre 2013
Norme En vigueur

Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : surfacique - Partie 604 : caractéristiques nominales des instruments sans contact (à interférométrie par balayage à cohérence)

L'ISO 25178-604:2013 spécifie les caractéristiques métrologiques des systèmes d'interférométrie par balayage à cohérence (CSI) pour la cartographie 3D de la hauteur de surface.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

septembre 2013

Nombre de pages

52 p.

Référence

NF EN ISO 25178-604

Codes ICS

17.040.20   Etat de surfaces
17.040.40   Spécification géométrique des produits (GPS)

Indice de classement

E05-031-604

Numéro de tirage

1 - 30/08/2013

Parenté internationale

ISO 25178-604:2013

Parenté européenne

EN ISO 25178-604:2013
Résumé
Spécification géométrique des produits (GPS) - État de surface : surfacique - Partie 604 : caractéristiques nominales des instruments sans contact (à interférométrie par balayage à cohérence)

L'ISO 25178-604:2013 spécifie les caractéristiques métrologiques des systèmes d'interférométrie par balayage à cohérence (CSI) pour la cartographie 3D de la hauteur de surface.

Sommaire
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  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    vi
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Termes et définitions
    1
  • 2.1 Termes et définitions relatifs à toutes les méthodes de mesure de l'état de surface surfacique
    1
  • 2.2 Termes et définitions relatifs aux systèmes de scanning suivant x et y
    6
  • 2.3 Termes et définitions relatifs aux systèmes optiques
    8
  • 2.4 Termes et définitions relatifs aux propriétés optiques de la pièce
    10
  • 2.5 Termes et définitions spécifiques aux microscopes interférométriques par balayage à cohérence
    10
  • 3 Descriptions des grandeurs d'influence
    14
  • 3.1 Généralités
    14
  • 3.2 Grandeurs d'influence
    14
  • Annexe A (informative) Vue d'ensemble et composants du microscope interférométrique par balayage à cohérence (CSI)
    17
  • Annexe B (informative) Théorie du fonctionnement de l'interférométrie par balayage à cohérence (CSI)
    22
  • Annexe C (informative) Résolution spatiale
    32
  • Annexe D (informative) Exemple de procédure d'estimation de la répétabilité de la topographie de surface
    37
  • Annexe E (informative) Relation avec la matrice GPS
    38
  • Bibliographie
    40
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