NF EN 62047-2

NF EN 62047-2

novembre 2006
Norme En vigueur

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 2 : méthodes d'essais de traction des matériaux en couche mince

Le présent document spécifie la méthode pour les essais de traction des matériaux en couche mince d'une longueur et d'une largeur inférieure à 1 mm et d'une épaisseur inférieure à 10 micro m, qui sont des matériaux structurels principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues.

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Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

novembre 2006

Nombre de pages

29 p.

Référence

NF EN 62047-2

Codes ICS

29.045   Matériaux semi-conducteurs
31.080.01   Dispositifs à semi-conducteurs en général

Indice de classement

C96-050-2

Numéro de tirage

1 - 23/11/2006

Parenté internationale

IEC 62047-2:2006

Parenté européenne

EN 62047-2:2006
Résumé
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 2 : méthodes d'essais de traction des matériaux en couche mince

Le présent document spécifie la méthode pour les essais de traction des matériaux en couche mince d'une longueur et d'une largeur inférieure à 1 mm et d'une épaisseur inférieure à 10 micro m, qui sont des matériaux structurels principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues.
Sommaire
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  • AVANT-PROPOS
    2
  • 1 Domaine d'application
    4
  • 2 Références normatives
    4
  • 3 Symboles et désignations
    4
  • 4 Méthode d'essai et appareillage d'essai
    5
  • 4.1 Méthode de fixation
    5
  • 4.2 Méthode de charge
    5
  • 4.3 Vitesse d'essai
    5
  • 4.4 Mesure de la force
    5
  • 4.5 Mesure de l'allongement
    5
  • 4.6 Courbe contrainte-déformation
    6
  • 4.7 Contrôle de l'environnement
    6
  • 5 Éprouvette d'essai
    6
  • 5.1 Généralités
    6
  • 5.2 Forme plane de l'éprouvette d'essai
    6
  • 5.3 Epaisseur de l'éprouvette d'essai
    7
  • 5.4 Marque repère
    7
  • 6 Rapport d'essai
    7
  • Annexe A (informative)
    Méthode de serrage de l'éprouvette d'essai 8
  • Annexe B (normative) Conditions d'essai
    10
  • Annexe C (informative) Éprouvette d'essai
    11
  • Annexe ZA (normative) Références normatives à d'autres publications internationales
  • avec les publications européennes correspondantes
    13
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