NF EN 62047-2

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 2 : méthodes d'essais de traction des matériaux en couche mince

Le présent document spécifie la méthode pour les essais de traction des matériaux en couche mince d'une longueur et d'une largeur inférieure à 1 mm et d'une épaisseur inférieure à 10 micro m, qui sont des matériaux structurels principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues.

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