NF ISO 16700

NF ISO 16700

avril 2006
Norme Annulée

Analyse par microfaisceaux - Microscopie électronique à balayage - Lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image

L'ISO 16700:2004 spécifie une méthode pour étalonner le grandissement des images générées par un microscope électronique à balayage (MEB) en employant un matériau de référence approprié. Cette méthode est limitée aux grandissements déterminés par la taille des structures disponibles dans le matériau de référence d'étalonnage. L'ISO 16700:2004 ne s'applique pas aux MEB dédiés au mesurage de dimension critique.

Voir plus
Visualiser l'extrait
Informations générales

Collections

Normes nationales et documents normatifs nationaux

Date de publication

avril 2006

Nombre de pages

22 p.

Référence

NF ISO 16700

Codes ICS

37.020   Matériel optique
71.040.30   Réactifs chimiques
71.040.40   Méthodes d'analyse chimique

Indice de classement

X21-005

Numéro de tirage

1 - 09/03/2006

Parenté internationale

ISO 16700:2004
Résumé
Analyse par microfaisceaux - Microscopie électronique à balayage - Lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image

L'ISO 16700:2004 spécifie une méthode pour étalonner le grandissement des images générées par un microscope électronique à balayage (MEB) en employant un matériau de référence approprié. Cette méthode est limitée aux grandissements déterminés par la taille des structures disponibles dans le matériau de référence d'étalonnage. L'ISO 16700:2004 ne s'applique pas aux MEB dédiés au mesurage de dimension critique.

Sommaire
Visualiser l'extrait
  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    v
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Références normatives
    1
  • 3 Termes et définitions
    1
  • 4 Grandissement d'image
    3
  • 4.1 Marqueur d'échelle
    3
  • 4.2 Expression du grandissement
    3
  • 5 Matériau de référence
    4
  • 5.1 Généralités
    4
  • 5.2 Exigences pour un CRM
    4
  • 5.3 Gravures sur un CRM
    4
  • 5.4 Stockage et manipulation
    4
  • 6 Procédures d'étalonnage
    5
  • 6.1 Généralités
    5
  • 6.2 Montage du CRM
    5
  • 6.3 Réglage des conditions opératoires du MEB pour l'étalonnage
    5
  • 6.4 Enregistrement de l'image
    6
  • 6.5 Mesure de l'image
    6
  • 6.6 Étalonnage du grandissement et du marqueur d'échelle
    7
  • 7 Exactitude du grandissement d'image et du marqueur d'échelle
    8
  • 8 Rapport d'étalonnage
    9
  • 8.1 Généralités
    9
  • 8.2 Contenu du rapport d'étalonnage
    9
  • Annexe A (informative) Matériaux de référence pour l'étalonnage du grandissement
    10
  • Annexe B (informative) Paramètres qui influencent le grandissement résultant d'un MEB
    12
  • Annexe C (informative) Incertitudes des mesures de grandissement
    14
  • Annexe D (informative) Exemple de rapport d'essais
    15
Besoin d’identifier, de veiller et de décrypter les normes ?

COBAZ est la solution simple et efficace pour répondre aux besoins normatifs liés à votre activité, en France comme à l’étranger.

Disponible sur abonnement, CObaz est LA solution modulaire à composer selon vos besoins d’aujourd’hui et de demain. Découvrez vite CObaz !

Demandez votre démo live gratuite, sans engagement

Je découvre COBAZ