L'ISO 25178-606:2015 définit les caractéristiques métrologiques d'une méthode de mesure sans contact particulière de l'état de surface au moyen d'un capteur à variation de focale (FV).

Le présent document spécifie la conception et les caractéristiques métrologiques des instruments d'interférométrie par balayage à cohérence (CSI) pour le mesurage surfacique de la topographie de surface. Puisque les profils de surface peuvent être extraits des données de topographie de surface, les méthodes décrites dans le présent document s'appliquent également aux mesurages de profil.

ISO 25178-72:2017 définit le format de fichier XML x3p pour le stockage et l'échange des données de topographie et de profils.

Le présent document spécifie la conception, les caractéristiques métrologiques et les caractéristiques nominales des instruments à contact à stylet pour le mesurage surfacique de la topographie de surface. Comme les profils de surface peuvent être extraits des données de topographie de surface surfacique, les méthodes décrites dans le présent document s'appliquent également aux mesurages de profil.

Le présent document spécifie les paramètres applicables à la détermination de l'état de surface au moyen de méthodes surfaciques.

La présente partie de l'ISO 25178 spécifie l'opérateur de spécification complet pour l'état de surface (surfacesà échelle limitée) par des méthodes surfaciques.

Le présent document spécifie des modes opératoires génériques pour l’étalonnage, l’ajustage et la vérification des caractéristiques métrologiques que les instruments de mesure de la topographie des surfaces ont en commun, comme indiqué dans l’ISO 25178‑600.Comme les profils peuvent être extraits des images par topographie de surface, la plupart des méthodes décrites dans le présent document peuvent être adaptées aux instruments de profilométrie.Les problèmes spécifiques des instruments ne sont pas couverts dans le présent document. Par exemple, pour les instruments basés sur un palpage mécanique, lorsque le palpeur suit un mouvement arqué additionnel, des mesures additionnelles sont spécifiées dans l’ISO 25178‑701.Le présent document n’inclut pas de modes opératoires pour les méthodes d’intégration des surfaces, bien que celles-ci soient aussi mentionnées dans l’ISO 25178‑6. Par exemple, la diffusion de la lumière appartient à une classe de techniques connue sous le nom de méthodes d’intégration des surfaces servant à mesurer la topographie des surfaces.

Le présent document spécifie la conception et les caractéristiques des instruments à capteur autofocus à point (PAP) pour le mesurage surfacique de la topographie de surface. Comme les profils de surface peuvent être extraits des données de topographie de surface surfacique, les méthodes spécifiées dans le présent document s'appliquent également aux mesurages de profil.

L'ISO 25178-70:2014 spécifie les caractéristiques des mesures matérialisées utilisées pour la vérification périodique et le réglage des instruments de mesure de l'état de surface surfacique.