L'ISO 25178-606:2015 définit les caractéristiques métrologiques d'une méthode de mesure sans contact particulière de l'état de surface au moyen d'un capteur à variation de focale (FV).

L'ISO 25178-603:2013 décrit les caractéristiques métrologiques des microscopes de mesure de profil et d'état de surface surfacique par interférométrie à glissement de franges (PSI).

L'ISO 25178-70:2014 spécifie les caractéristiques des mesures matérialisées utilisées pour la vérification périodique et le réglage des instruments de mesure de l'état de surface surfacique.

ISO 25178-1:2016 spécifie les règles pour l'indication des états de surface surfaciques dans la documentation technique de produits (par exemple dessins, spécifications, contrats, rapports) au moyen de symboles graphiques.

L'ISO 25178-6:2010 décrit un système de classification des méthodes employées principalement pour le mesurage de l'état de surface. Elle définit trois classes de méthodes, illustre la relation entre les classes et décrit brièvement les méthodes spécifiques.

L'ISO 25178-701:2010 spécifie les caractéristiques des mesures matérialisées utilisées comme étalons, les méthodes d'évaluation des erreurs résiduelles, et les méthodes d'étalonnage et les essais de réception et de revérification périodique, relatives aux instruments de mesurage de l'état de surface surfacique à contact (à palpeur).

ISO 25178-72:2017 définit le format de fichier XML x3p pour le stockage et l'échange des données de topographie et de profils.

L'ISO 25178-604:2013 spécifie les caractéristiques métrologiques des systèmes d'interférométrie par balayage à cohérence (CSI) pour la cartographie 3D de la hauteur de surface.

l'ISO 25178-605:2014 décrit les caractéristiques métrologiques d'un instrument sans contact pour le mesurage de l'état de surface à l'aide d'un capteur autofocus à point.

L'ISO 25178-71:2017 définit les étalons logiciels de Types S1 et S2 qui permettent de vérifier les logiciels des instruments de mesure. Il définit également le format de fichier des étalons logiciels de Type S1 utilisés pour l'étalonnage des instruments de mesure d'état de surface, conformément à la méthode surfacique telle que définie dans le maillon G de la chaîne de normes sur l'état de surface surfacique. NOTE Dans l'ISO 25178-71:2017, le terme «étalon logiciel» désigne un «étalon logiciel de Type S1».