NF EN 60204-33

NF EN 60204-33

February 2012
Standard Current

Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33 : requirements for semiconductor fabrication equipment

Le présent document s'applique aux équipements électriques et électroniques associés aux équipements de fabrication des semi-conducteurs pour la fabrication, les mesures, l'assemblage et les essais des semi-conducteurs.Le présent document entre dans le champ d'application de la Directive Machines n°2006/42/CE du 17/05/2006.

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Main informations

Collections

National standards and national normative documents

Thematics

QSE, Sécurité, Gestion des risques et SST

Publication date

February 2012

Number of pages

133 p.

Reference

NF EN 60204-33

ICS Codes

13.110   Safety of machinery
29.020   Electrical engineering in general

Classification index

C79-130-33

Print number

1 - 24/02/2012

International kinship

IEC 60204-33:2009

European kinship

EN 60204-33:2011
Sumary
Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33 : requirements for semiconductor fabrication equipment

Le présent document s'applique aux équipements électriques et électroniques associés aux équipements de fabrication des semi-conducteurs pour la fabrication, les mesures, l'assemblage et les essais des semi-conducteurs. Le présent document entre dans le champ d'application de la Directive Machines n°2006/42/CE du 17/05/2006.
Table of contents
  • AVANT-PROPOS
    2
  • INTRODUCTION
    12
  • 1 Domaine d'application
    13
  • 2 Références normatives
    14
  • 3 Termes et définitions
    15
  • 4 Exigences générales
    26
  • 5 Bornes des conducteurs d'alimentation et appareils de sectionnement et de coupure
    28
  • 6 Protection contre les chocs électriques
    32
  • 7 Protection de l'équipement
    38
  • 8 Liaison équipotentielle
    44
  • 9 Circuits de commande, circuits de coupure d'urgence et circuits de verrouillage de protection
    49
  • 10 Interfaces opérateur
    56
  • 11 Appareillage de commande: emplacement, montage et enveloppes
    61
  • 12 Conducteurs et câbles
    65
  • 13 Pratiques du câblage
    68
  • 14 Moteurs électriques et équipements associés
    76
  • 15 Accessoires et éclairage
    77
  • 16 Marquages, signaux d'avertissement et désignations de référence
    78
  • 17 Documentation technique
    79
  • 18 Essais
    82
  • 18.2 Essai de continuité de terre et de continuité du circuit de protection
    83
  • 18.3 Essai de courant de fuite des équipements électriques raccordés par câble et fiche
    84
  • 18.5 Essai du dispositif d'arrêt de traction
    86
  • 18.6 Essai de court-circuit de sortie de l'alimentation
    86
  • 18.7 Essai fonctionnel du circuit de verrouillage de protection
    87
  • 18.8 Essai de décharge d'énergie accumulée dans un condensateur (voir 6.2.4)
    87
  • 18.9 Essai en température
    88
  • 18.10 Essai de résistance des enveloppes électriques; essai de force constante de
    30N
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