NF EN 62047-11

NF EN 62047-11

March 2014
Standard Current

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11 : test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

Le présent document définit la méthode d'essai pour mesurer les coefficients de dilatation thermique linéaire (CLTE) de matériaux de systèmes micro-électromécaniques (MEMS) solides autonomes minces (métalliques, céramiques, polymères, etc.) dont la longueur est comprise entre 0,1 mm et 1 mm, la largeur entre 10 micromètres et 1 mm et l'épaisseur entre 0,1 micromètre et 1 mm, qui sont les matériaux structurels principaux utilisés pour les MEMS, les micromachines et autres. Cette méthode d'essai peut s'appliquer à la mesure des CLTE dans la gamme de températures allant de la température ambiante jusqu'à 30 % de la température de fusion du matériau.

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Main informations

Collections

National standards and national normative documents

Publication date

March 2014

Number of pages

23 p.

Reference

NF EN 62047-11

ICS Codes

29.045   Semiconducting materials
31.080.99   Other semiconductor devices

Classification index

C96-050-11

Print number

1

International kinship

IEC 62047-11:2013

European kinship

EN 62047-11:2013
Sumary
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11 : test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems

Le présent document définit la méthode d'essai pour mesurer les coefficients de dilatation thermique linéaire (CLTE) de matériaux de systèmes micro-électromécaniques (MEMS) solides autonomes minces (métalliques, céramiques, polymères, etc.) dont la longueur est comprise entre 0,1 mm et 1 mm, la largeur entre 10 micromètres et 1 mm et l'épaisseur entre 0,1 micromètre et 1 mm, qui sont les matériaux structurels principaux utilisés pour les MEMS, les micromachines et autres. Cette méthode d'essai peut s'appliquer à la mesure des CLTE dans la gamme de températures allant de la température ambiante jusqu'à 30 % de la température de fusion du matériau.
Table of contents
  • SOMMAIRE
    3
  • 1
    Domaine d'application 4
  • 2
    Références normatives 4
  • 3
    Symboles et désignations 4
  • 4
    Éprouvette d'essai 5
  • 5
    Méthode d'essai et appareillage d'essai 6
  • 6
    Rapport d'essai 10
  • Annexe A (informative) Fabrication de l'éprouvette d'essai
    11
  • Annexe B (informative) Exemple de manipulation d'une éprouvette d'essai
    12
  • Annexe C (informative) Processus de libération de l'éprouvette d'essai
    13
  • Annexe D (informative) Montage d'essai hors plan et exemple d'éprouvette d'essai
    14
  • Annexe E (informative) Exemple d'analyse de données de la méthode d'essai dans le plan
    15
  • Annexe F (informative) Exemple d'analyse de données de la méthode d'essai hors plan
    16
  • Annexe ZA (normative) Références normatives à d'autres publications internationales avec les publications européennes correspondantes
    18
  • Bibliographie
    19
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