NF EN ISO 10692-2
Gas cylinders - Gas cylinder valve connections for use in the microelectronics industry - Part 2 : specification and type testing for valve to cylinder connections
La présente partie de l'ISO 10692 spécifie une séquence d'essais et des critères d'acceptabilité pour les raccords entre les bouteilles à gaz et les robinets destinés à des gaz ou à des mélanges de gaz utilisés dans des conditions de service particulières, où les niveaux les plus rigoureux de propreté et/ou d'absence de particules sont exigés, notamment lors de la fabrication de composants microélectroniques. Elle spécifie un programme d'essais de type obligatoire permettant de garantir la sécurité du raccord entre le robinet et la bouteille. Des essais supplémentaires recommandés afin d'évaluer la durabilité et d'autres paramètres fonctionnels du raccord sont énoncés dans l'annexe A.
La présente partie de l'ISO 10692 spécifie une séquence d'essais et des critères d'acceptabilité pour les raccords entre les bouteilles à gaz et les robinets destinés à des gaz ou à des mélanges de gaz utilisés dans des conditions de service particulières, où les niveaux les plus rigoureux de propreté et/ou d'absence de particules sont exigés, notamment lors de la fabrication de composants microélectroniques. Elle spécifie un programme d'essais de type obligatoire permettant de garantir la sécurité du raccord entre le robinet et la bouteille. Des essais supplémentaires recommandés afin d'évaluer la durabilité et d'autres paramètres fonctionnels du raccord sont énoncés dans l'annexe A.
La présente norme complète la norme NF E 29-671. Elle fixe les dimensions des robinets de bouteilles à gaz pour gaz ultra-purs qui nécessitent des précautions particulières en matière d'étanchéité, garantissant ainsi la pureté des gaz.
- Avant-proposiv
- Introductionv
-
1 Domaine d'application1
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2 Références normatives1
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3 Exigences générales1
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4 Séquence des essais de sécurité2
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5 Rapport d'essai2
- Annexe A (informative) Séquence d'essais pour les essais de fonctionnement3
- Annexe B (informative) Mode opératoire de l'essai d'étanchéité à l'hélium4
- Annexe C (informative) Mode opératoire de l'essai aux vibrations5
- Bibliographie6
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