NF ISO 18516

NF ISO 18516

April 2008
Standard Cancelled

Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution

ISO 18516:2006 describes three methods for measuring the lateral resolution achievable in Auger electron spectrometers and X-ray photoelectron spectrometers under defined settings. The straight-edge method is suitable for instruments where the lateral resolution is expected to be larger than 1 micrometre. The grid method is suitable if the lateral resolution is expected to be less than 1 micrometre but more than 20 nm. The gold-island method is suitable for instruments where the lateral resolution is expected to be smaller than 50 nm. Annexes A, B and C provide illustrative examples of the measurement of lateral resolution.

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Main informations

Collections

National standards and national normative documents

Publication date

April 2008

Number of pages

31 p.

Reference

NF ISO 18516

ICS Codes

71.040.40   Chemical analysis

Classification index

X21-061

Print number

1 - 10/03/2008

International kinship

ISO 18516:2006
Sumary
Surface chemical analysis - Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy - Determination of lateral resolution

ISO 18516:2006 describes three methods for measuring the lateral resolution achievable in Auger electron spectrometers and X-ray photoelectron spectrometers under defined settings. The straight-edge method is suitable for instruments where the lateral resolution is expected to be larger than 1 micrometre. The grid method is suitable if the lateral resolution is expected to be less than 1 micrometre but more than 20 nm. The gold-island method is suitable for instruments where the lateral resolution is expected to be smaller than 50 nm.

Annexes A, B and C provide illustrative examples of the measurement of lateral resolution.

Table of contents
  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    v
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Références normatives
    1
  • 3 Termes, définitions, symboles et termes abrégés
    1
  • 3.1 Termes et définitions
    1
  • 3.2 Symboles et termes abrégés
    2
  • 4 Informations générales
    2
  • 4.1 Informations préalables
    2
  • 4.2 Mesure de la résolution latérale en AES et en XPS
    3
  • 4.3 Dépendance de la résolution latérale par rapport à la direction de balayage
    3
  • 4.4 Procédés de mesure de la résolution latérale en AES et en XPS
    4
  • 5 Mesure de la résolution latérale avec le procédé du bord rectiligne
    5
  • 5.1 Introduction
    5
  • 5.2 Variantes du procédé du bord rectiligne
    5
  • 5.3 Choix de l'échantillon à bord rectiligne
    5
  • 5.4 Montage de l'échantillon à bord rectiligne
    6
  • 5.5 Nettoyage de l'échantillon à bord rectiligne
    6
  • 5.6 Fonctionnement de l'instrument
    6
  • 5.7 Collecte des données
    6
  • 5.8 Analyse des données
    9
  • 6 Mesure de la résolution latérale à l'aide du procédé de la grille
    10
  • 6.1 Introduction
    10
  • 6.2 Choix de l'échantillon de grille
    10
  • 6.3 Montage de l'échantillon de grille
    11
  • 6.4 Nettoyage de l'échantillon de grille
    11
  • 6.5 Fonctionnement de l'instrument
    11
  • 6.6 Collecte des données
    11
  • 6.7 Analyse des données
    13
  • 7 Mesure de la résolution latérale à l'aide du procédé de l'îlot d'or
    13
  • 7.1 Introduction
    13
  • 7.2 Choix de l'échantillon aux îlots d'or
    13
  • 7.3 Montage de l'échantillon aux îlots d'or
    14
  • 7.4 Nettoyage de l'échantillon aux îlots d'or
    14
  • 7.5 Fonctionnement de l'instrument
    14
  • 7.6 Collecte des données
    15
  • 7.7 Analyse des données
    17
  • Annexe A (informative) Détermination de la résolution latérale d'un instrument XPS avec un spot focalisé de rayons X
    18
  • Annexe B (informative) Détermination de la résolution latérale à partir d'un balayage linéaire des électrons secondaires
    20
  • Annexe C (informative) Détermination de la résolution latérale des balayages linéaires des électrons Auger
    22
  • Bibliographie
    25
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