NF ISO 21360-1

NF ISO 21360-1

July 2012
Standard Cancelled

Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 1 : general description

L'ISO 21360-1:2012 spécifie trois méthodes pour le mesurage de débit volumique ainsi qu'une méthode pour le mesurage de la pression de base, une méthode pour le mesurage du coefficient de compression et une méthode pour le mesurage de la pression critique de refoulement de la pompe à vide. La première méthode pour le mesurage du débit volumique (la méthode du flux) est un concept de base dans lequel un flux stable de gaz est injecté dans la pompe tout en mesurant la pression d'entrée. En pratique, le mesurage du flux de gaz peut être compliqué ou inexact. Pour cette raison, deux autres méthodes sont spécifiées pour éviter le mesurage direct du flux. La seconde méthode pour le mesurage du débit volumique (la méthode du diaphragme) est utilisée pour les très petits flux à de très faibles pressions d'entrée (sous vide élevé ou très élevé). Elle est basée sur le mesurage du taux de compression dans un dôme d'essai à deux chambres séparées par une paroi comportant un diaphragme circulaire. La troisième méthode pour le mesurage du débit volumique (la méthode d'aspiration) est adaptée pour les mesurages automatisés. Elle est basée sur l'évacuation d'un grand récipient. Le débit volumique est calculé à partir de deux pressions, avant et après une période de pompage, et à partir du volume du dôme d'essai. Différents effets comme les taux de fuite et de désorption, le refroidissement du gaz par une expansion presque isentropique pendant la période de pompage et l'augmentation de la résistance du débit dans la conduite de branchement entre le dôme d'essai et la pompe, engendrée par un débit moléculaire à basses pressions, ont une influence sur les résultats de la mesure de pression et du débit volumique résultant. Le choix des méthodes de mesure nécessaires dépend des propriétés des types spécifiques de pompe à vide, par exemple le mesurage de la pression critique de refoulement n'est nécessaire que pour les pompes à vide qui ont besoin d'une pompe de refoulement. Toutes les données mesurées sur une pompe à vide mais non spécifiées dans l'ISO 21360-1:2012 (par exemple le mesurage de la consommation d'énergie), sont définies dans la norme spécifique relative à la pompe.

View the extract
Main informations

Collections

National standards and national normative documents

Publication date

July 2012

Number of pages

34 p.

Reference

NF ISO 21360-1

ICS Codes

23.160   Vacuum technology

Classification index

X10-510-1

Print number

1 - 09/07/2012

International kinship

Sumary
Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 1 : general description

L'ISO 21360-1:2012 spécifie trois méthodes pour le mesurage de débit volumique ainsi qu'une méthode pour le mesurage de la pression de base, une méthode pour le mesurage du coefficient de compression et une méthode pour le mesurage de la pression critique de refoulement de la pompe à vide.

La première méthode pour le mesurage du débit volumique (la méthode du flux) est un concept de base dans lequel un flux stable de gaz est injecté dans la pompe tout en mesurant la pression d'entrée. En pratique, le mesurage du flux de gaz peut être compliqué ou inexact. Pour cette raison, deux autres méthodes sont spécifiées pour éviter le mesurage direct du flux.

La seconde méthode pour le mesurage du débit volumique (la méthode du diaphragme) est utilisée pour les très petits flux à de très faibles pressions d'entrée (sous vide élevé ou très élevé). Elle est basée sur le mesurage du taux de compression dans un dôme d'essai à deux chambres séparées par une paroi comportant un diaphragme circulaire.

La troisième méthode pour le mesurage du débit volumique (la méthode d'aspiration) est adaptée pour les mesurages automatisés. Elle est basée sur l'évacuation d'un grand récipient. Le débit volumique est calculé à partir de deux pressions, avant et après une période de pompage, et à partir du volume du dôme d'essai. Différents effets comme les taux de fuite et de désorption, le refroidissement du gaz par une expansion presque isentropique pendant la période de pompage et l'augmentation de la résistance du débit dans la conduite de branchement entre le dôme d'essai et la pompe, engendrée par un débit moléculaire à basses pressions, ont une influence sur les résultats de la mesure de pression et du débit volumique résultant.

Le choix des méthodes de mesure nécessaires dépend des propriétés des types spécifiques de pompe à vide, par exemple le mesurage de la pression critique de refoulement n'est nécessaire que pour les pompes à vide qui ont besoin d'une pompe de refoulement. Toutes les données mesurées sur une pompe à vide mais non spécifiées dans l'ISO 21360-1:2012 (par exemple le mesurage de la consommation d'énergie), sont définies dans la norme spécifique relative à la pompe.

Table of contents
View the extract
  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    v
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Références normatives
    1
  • 3 Termes et définitions
    1
  • 4 Symboles et termes abrégés
    3
  • 5 Méthodes d'essai
    5
  • 5.1 Mesurage du débit volumique (vitesse de pompage) avec la méthode du flux
    5
  • 5.2 Mesurage du débit volumique (vitesse de pompage) avec la méthode du diaphragme
    9
  • 5.3 Mesurage du débit volumique (vitesse de pompage) avec la méthode d'aspiration
    14
  • 5.4 Mesurage de la pression de base
    19
  • 5.5 Mesurage du taux de compression et de la pression critique de refoulement
    20
  • Annexe A (informative) Passage libre moyen de quelques gaz importants
    24
  • Annexe B (informative) Incertitudes de mesure
    25
  • Bibliographie
    28
ZOOM ON ... the Requirements department
To comply with a standard, you need to quickly understand its issues in order to determine its impact on your activity.

The Requirements department helps you quickly locate within the normative text:
- mandatory clauses to satisfy,
- non-essential but useful clauses to know, such as permissions and recommendations.

The identification of these types of clauses is based on the document “ISO / IEC Directives, Part 2 - Principles and rules of structure and drafting of ISO documents ”as well as on a constantly enriched list of verbal forms.

With Requirements, quickly access the main part of the normative text!

With Requirements, quickly access the main part of the normative text!
Need to identify, monitor and decipher standards?

COBAZ is the simple and effective solution to meet the normative needs related to your activity, in France and abroad.

Available by subscription, CObaz is THE modular solution to compose according to your needs today and tomorrow. Quickly discover CObaz!

Request your free, no-obligation live demo

I discover COBAZ