NF ISO 16700

NF ISO 16700

April 2006
Standard Cancelled

Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Guidelines for calibrating image magnification

ISO 16700:2004 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. This International Standard does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.

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Main informations

Collections

National standards and national normative documents

Publication date

April 2006

Number of pages

22 p.

Reference

NF ISO 16700

ICS Codes

37.020   Optical equipment
71.040.30   Chemical reagents
71.040.40   Chemical analysis

Classification index

X21-005

Print number

1 - 10/03/2006

International kinship

ISO 16700:2004
Sumary
Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Guidelines for calibrating image magnification

ISO 16700:2004 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. This International Standard does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.

Table of contents
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  • Avant-propos
    iv
  • Introduction
    v
  • 1 Domaine d'application
    1
  • 2 Références normatives
    1
  • 3 Termes et définitions
    1
  • 4 Grandissement d'image
    3
  • 4.1 Marqueur d'échelle
    3
  • 4.2 Expression du grandissement
    3
  • 5 Matériau de référence
    4
  • 5.1 Généralités
    4
  • 5.2 Exigences pour un CRM
    4
  • 5.3 Gravures sur un CRM
    4
  • 5.4 Stockage et manipulation
    4
  • 6 Procédures d'étalonnage
    5
  • 6.1 Généralités
    5
  • 6.2 Montage du CRM
    5
  • 6.3 Réglage des conditions opératoires du MEB pour l'étalonnage
    5
  • 6.4 Enregistrement de l'image
    6
  • 6.5 Mesure de l'image
    6
  • 6.6 Étalonnage du grandissement et du marqueur d'échelle
    7
  • 7 Exactitude du grandissement d'image et du marqueur d'échelle
    8
  • 8 Rapport d'étalonnage
    9
  • 8.1 Généralités
    9
  • 8.2 Contenu du rapport d'étalonnage
    9
  • Annexe A (informative) Matériaux de référence pour l'étalonnage du grandissement
    10
  • Annexe B (informative) Paramètres qui influencent le grandissement résultant d'un MEB
    12
  • Annexe C (informative) Incertitudes des mesures de grandissement
    14
  • Annexe D (informative) Exemple de rapport d'essais
    15
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