Le présent document définit le système de classification de la propreté des surfaces dans les salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes et particules). Il s''applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé, telle que murs, plafonds, sols, plans de travail, outils, équipements et dispositifs.
Le présent document définit les procédés d''essai appropriés afin de déterminer la propreté des surfaces dans les salles propres en fonction de la présence de composés ou éléments chimiques (molécules, ions, atomes et particules). Il s''applique à toute surface solide dans une salle propre ou un environnement maîtrisé apparenté, telle que les murs, plafonds, sols, surfaces de travail, outils, équipements et dispositifs.
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